电子特气六氟化钨中组分含量检测方案(红外光谱仪)

District 电子特气气，即电子特种气体，是集成电路、平面显示器件、半导体晶圆、太阳能电池等 电子工 产过程中不可或缺的关键原材料。六氟化钨(WF6)是目前钨的氟化物中唯一稳定并被工业化生产的气体，目前全球各国正在积极拓展六氟化钨的产能与下游应用领域。戈。 六氟化钨在电子工业中一般作为金属钨化学气相沉积(CVD)工艺的原材料，特别是用它制成的二硅硅钨 (WSi2)是一种高性能的导电陶瓷材料，可用作大规模集成电路中的配线材料。 此外，六六氟化钨还可作为半导体电极的原材料、氟化剂、聚合催化剂及光学材料的原料等六氟化钨中氟化氢主要来源于两个方面 -是合成的原料气三氟化氮(NF3)中的氟化氢杂质，二是原料中的水分会与六氟化钨反应，生成氟化氢。 系统参数测量原理 FTIR(高分辨)专利 Michelson 干涉仪，无需校准性能 具有同时自动分析60种以上化合物的能力相应时间(秒)15~120秒，与样品流速有关分辨率 从0.5~32cm-1之间可调(一般选0.5cm-1)扫描速度 在0.5cm-1分辨率下，1次/秒；在8cm-1分辨率下，10次/秒检测器 -般用Peltier冷却12微米 MCT (TE-MCT)，也可选择液氮冷却MCT，InSb，InAs， DTGS等光源 -般用SiC，也可选卤钨灯(近红外)分束器 一般用ZnSe，可选 BaF2， CaF2，KBr波长范围 350~7000cm-1气体池材质 一般为镀金镍池光路长度 1cm，10cm，1m，4m，6m， 10m， 20m 等可选。(常用10m池)窗片材料 一般为ZnSe，BaF2，石英，金刚石等多种材料可选操作系统AQPro红外光谱分析软件包数据库(多项专利以及完善的化合物数据库) 图中，我们实时监测的组分包括： C2F6、C3F8、C4F8、CF4、CHF3、COF2、SF6、SiF4、SiH4 地也址：北京市大兴区盛坊路2号 Address：Beijingi nogf foiffice NO.2 Shengfang电电话：010-83813136传专真：010-83813136网网址：www.bjg igmm..net.cn 客服服务：44000-010-7708 el：010-83813136Fax：010-83813136Web：www.bjgm.net.cnService Tel：400-010-7708 电子特气，即电子特种气体，是集成电路、平面显示器件、半导体晶圆、太阳能电池等电子工业生产过程中不可或缺的关键原材料。六氟化钨（WF6）是目前钨的氟化物中唯一稳定并被工业化生产的气体，目前全球各国正在积极拓展六氟化钨的产能与下游应用领域。