含氟电子特气中痕量杂质检测方案(红外光谱仪)

北京高麦克仪器科技有限公司 MIDAC FTIR—精准探索含氟电子特气的奥秘 小标题：专利支持、强大的数据库 含氟电子特气现状 现阶段,我国半导体行业“国产化”浪潮仍在盛行,而含氟特种气体作为半导体行业的上游领域，在中美贸易战争的影响下，国产化趋势也较为明显。 （可以P成半导体中国芯图片，把中国芯加上去） 集成电路是信息社会的“根基”,而高纯度含氟电子气体作为极大规模集成电路行业必需的清洗和蚀刻气体,可以在芯片制作过程中保障极大规模集成电路的生成,确保电路能够有效发挥作用。含氟电子气体的细分品类众多,主要包括CF4、C2F6、C3F8、C4F8、C4F6、CHF3、SF6、NF3等传统含氟电子气体,以及COF2、ClF3、F2等新型低GWP含氟气体。 在众多特种气体中，由于含氟电子特气技术壁垒较高、市场需求持续增长、价格稳定，成众多国内厂商青睐的对象。 检测难点 往往含氟电子特气中的常量杂质分析，比如O2、Ar、CO、CO2、CH4等，采用高麦气相色谱仪即可完全检出，但其中的HF、SF6、SO2等腐蚀性气体杂质，由于含量低且存在腐蚀性等原因导致很难检出。 为提高检测效率以及数据的完整性，高麦将为您提供MIDAC I系列FTIR，能够在几秒钟内完全杂质痕量检测。 MIDAC I系列FTIR 技术优势： 测量速度快 FTIR的测量速度几乎是实时响应 专利技术 专利的MIDAC干涉仪，稳定、高效 强大的光谱数据库 美国NASA/EPA等官方机构指定的供应商，数据库涵盖了电子气市场上的几乎所有检测项目 极佳的防腐蚀性能 样品池内采用的专利涂层技术可以保证满足绝大多数腐蚀性样品的检测需求 应用谱图： 国内某电子特气企业现场FTIR实操 图中，我们实时监测的组分包括： C2F6 、C3F8、C4F8、CF4、CHF3、COF2、SF6、SiF4、SiH4 HF谱图 SO2谱图 含氟电子气体的细分品类众多，主要包括CF4、C2F6、C3F8、C4F8、C4F6、CHF3、SF6、NF3等传统含氟电子气体，以及COF2、ClF3、F2等新型低GWP含氟气体。