光纤中COXEM台式扫描电镜拍摄检测方案(扫描电镜)

COXEM 台式扫描电镜拍摄-光纤 COXEM 台式扫描电镜(EM30)具有业内最高的分辨率(8nm)及连续可调的加速电压(1-30KV))――加速电压越高，电子束波长越短，分辨率越高。如图所示为一种光纤样品在不同放大倍数下的二次电子图像。从图1中我们能够清晰看到，针尖的形状、尺寸；图2为5万倍下对图1针尖的局部放大，能够清楚看到其上金颗粒的分布状态及形状、尺寸等；图3(样品A)、图4(样品B)依次为10万倍下不同光纤样品上的金颗粒分布，从中可以看出样品A 上金颗粒形状基本类似，为近圆形且分布较为均匀，但是颗粒尺寸偏差较大，其分布为 60nm-200nm；样品B上的金颗粒整体尺寸相较样品A 要小的多，大约为30nm-200nm， 且形状不是十分规则，尺寸差较大。COXEM台式扫描电镜可以轻易辨别出此类样品的形貌差异，从而作为改善工艺的参考依据。 图1 图2 图3 图4 COXEM台式扫描电镜（EM30）具有业内最高的分辨率（8nm）及连续可调的加速电压（1-30KV）——加速电压越高，电子束波长越短，分辨率越高。如图所示为一种光纤样品在不同放大倍数下的二次电子图像。从图1中我们能够清晰看到，针尖的形状、尺寸；图2为5万倍下对图1针尖的局部放大，能够清楚看到其上金颗粒的分布状态及形状、尺寸等；图3（样品A）、图4（样品B）依次为10万倍下不同光纤样品上的金颗粒分布，从中可以看出样品A上金颗粒形状基本类似，为近圆形且分布较为均匀，但是颗粒尺寸偏差较大，其分布为60nm-200nm；样品B上的金颗粒整体尺寸相较样品A要小的多，大约为30nm-200nm，且形状不是十分规则，尺寸差较大。COXEM台式扫描电镜可以轻易辨别出此类样品的形貌差异，从而作为改善工艺的参考依据。