上海伯东德国普发Pfeiffer 涡轮分子泵成功应用于磁控溅射

伯东企业（上海）有限公司HAKUTO ENTERPRISES (SHANGHAI) LTD.TEL: (86) 21-5046 3511 FAX: (86) 21-5046 1490 上海伯东德国普发Pfeiffer 涡轮分子泵成功应用于磁控溅射 上海伯东代理德国普发 Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 700 成功应用于宁波某研究所磁控溅射（Megnetron Sputtering）系统.宁波某研究所磁控溅射（Megnetron Sputtering）系统用于光刻胶片上溅金属铬,铜,钛.其中材料生长腔工作真空度要求 < E-7 hPa,能做到4英寸片,3靶位,可实现编程镀膜.材料生长腔对涡轮分子泵的要求较高,老师在考量了德国普发 Pfeiffer Hipace 700 涡轮分子泵和爱德华 Edwards STP603 分子泵后,因为对分子泵的压缩比要求较高,最终选择了德国普发 Pfeiffer 分子泵. -------宁波某研究所磁控溅射系统加装 Pfeiffer 涡轮分子泵----- 德国普发 Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 700 主要优点： 1.高压缩比 >1x1011 2.使用寿命长 3.涡轮分子泵真空度高且稳定 < E-7 hPa 4.大抽速 (N2) 685 l/s 5.与爱德华 Edwards STP603 相比,更大压缩比,真空度高且更稳定 值得一提的是,德国普发 Pfeiffer 涡轮分子泵广泛应用于国际知名的磁控溅射厂商,如美国 SVTA,芬兰 DCA,北京汇德信等.   宁波某研究所磁控溅射（Megnetron Sputtering）系统,同时使用上海伯东德国普发 Pfeiffer 真空规 PKR 251 测量腔体真空度,美国 HVA6'S 真空阀门和德国普发 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM 340 检漏腔体. 上海伯东德国普发 Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 系列产品抽速范围 10 l/s 至 2300 l/s,转子速率可达90000rpm。更有涡轮分子泵组 Hicube 系列和全磁浮涡轮分子泵 ATH 系列供选择已满足不同应用。Pfeiffer 涡轮分子泵更获得欧洲工业设计最高奖“红点奖”.