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文
前言
反射率 (R) 和透射率 (T) 是用于表征材料和光学涂层光学特性的基本测量指标。多角度光度光谱 (MPS) 可对样品从接近垂直到倾斜入射角 (AOI) 之间各种角度 (Θi ) 的反射率和/或透射率进行测量。近期,由安捷伦科技公司开发的 MPS 领域新产品 Cary 7000 通用型分光光度计 (UMS)，可在样品表面的同一点完成反射率和透射率测量，多
次测量间无需移动样品。减少了对多个附件和附件更换/重新配置的需求，可确保获得无与伦比的数据质量，避免一次测量中采用多种分析技术时，产生样品不均匀效应或光谱图不一致的情况。
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本文介绍了 Agilent Cary 7000 UMS 自动进样器的一项新功能，可实现旋转 (Φ) 和径向 (z) 的样品位置控制。安捷伦固体自动进样器可对单个大直径样品（最大直径可达 8 英寸）实现自动化的无人值守映射。示例中展示了在 4 英寸直径蓝宝石基底上沉积的氧化锌锡 (ZTO) 薄膜上获得的空间光谱信息，结果为分辨率 2 mm × 2 mm 的正方形。该方法可实现间带隙能量映射在基底的整个直径范围内。
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产品配置单
安捷伦科技(中国)有限公司为您提供《使用配备固体自动进样器的 Agilent Cary 7000 全能型分光光度计 (UMS) 进行涂层晶圆分析》，该方案主要用于其它中/检测，参考标准--，《使用配备固体自动进样器的 Agilent Cary 7000 全能型分光光度计 (UMS) 进行涂层晶圆分析》用到的仪器有Agilent Cary 7000 全能型分光光度计（UMS）
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