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本文应用基质辅助激光解吸电离飞行时间质谱仪（MALDI-TOF）对光刻胶样品进行分析，采用反-2-[3-(4-叔丁基苯基)-2-甲基-2-亚丙烯基]丙二腈（DCTB）基质，在正离子模式下进行数据采集，结果显示，在m/z 1-3600范围内，检测到一系列不同聚合度的质谱峰，相邻质谱峰平均相差约120 Da，与酚醛树脂单体-(C8H8O)n-分子量相符，聚合物质谱分布模式与酚醛树脂理论结构式相符。结果表明MALDI-TOF适用于光刻胶中酚醛树脂的分子量表征和合成情况确认，分析过程具有无需复杂前处理、分析速度快、分析成本低的特点。
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本文应用岛津台式机MALDI-8030在正离子模式下对光刻胶样品进行分析，获得了其主要成分酚醛树脂的分子量信息，实现了MALDI-TOF对光刻胶树脂分子量分布、合成情况的快速确认。该方法无需复杂前处理，将光刻胶原液稀释后直接上样，具有分析速度快、成本低的特点。中国已进入芯片快车道，而光刻胶是半导体行业中不可或缺的“卡脖子”材料，本例为光刻胶树脂的分子量、分布范围等质量评价和质量控制提供方法参考，为集成电路、新型显示屏、印刷电路板等领域中半导体材料的合成质控提供新的检测思路。
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岛津企业管理（中国）有限公司为您提供《应用MALDI-8030检测光刻胶中酚醛树脂的分子量》，该方案主要用于其它中光刻胶检测，参考标准--，《应用MALDI-8030检测光刻胶中酚醛树脂的分子量》用到的仪器有
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