等离子清洗中清洁度检查检测方案

Ergebnisse 说明 Korrelation zwischenFluoreszenzintensitat undOberflachenkohenstoffim feinst gereinigten Bereich 在精细清洁区域，荧光强度和碳表面积之间的相关性 Simon JaschkeSiemens HealthcareH CP CV PV SCM SPT Beschreibung 说明 Probenmaterial： reines Molybdan样品材料：纯钼 Verschmutzung： Kuhlschmierstoff Blaser B-Cool 9665 und eventuellReinigerruckstande 污染物：巴索切削液 b-cool9665和可能残留的清洁剂 Messgerate：测量仪： ● SITA CleanoSpectorSITA清洁度仪 ● Kohlenstoffanalysator Leco RC -412 碳测定仪 Leco RC-412 Probengeometrie： Ringsegment样品的几何形状：环形节 Anzahl der Proben je Messung： 10 Stuck 每次测量的样品数：10 ，，absolut" sauber： Wasserstoffgegluhte Probe“绝对”干净：样品经氢退火 Anzahl der Abtastpunkte je Probe： 6 Stuck auf nur einer Seite每个样品的采样点：在同一侧有6个采样点 Die Balken geben den Vertrauensbereich mit einer Aussagewahrscheinlichkeit von 95% an. 状态栏显示置信区间的情况，置信水平在95% Ergebnisse结果 "absolut" sauber“绝对”干净 10 Minuten O2-Plasma + 10 MinutenAr/H2-Plasma mit Isoproyplalkohol gereinigt 10分钟O2等离子+10分钟Ar/H2等离子 用异丙醇清洗 |mit Aceton gereinigt用丙酮清洗 10 Minuten Ar/H2-Plasma 2，5 Minuten 02-Plasma 10分钟Ar/H2等离子 2.5分钟O2等离子 Anlieferzustand 1.Messung Anlieferzustand 2.Messung Anlieferzustand 3.Messung 交货后第一次测试 交货后第二次测量 交货后第三次测量 18 16 14 12 10 8 6 4 2 0 H 5 10 20 Direktes Verfahren直接法 18 16 y=0，7126x R2=0，8386 ccd 14 12 10 8 6 4 2 0 5 15 Kontakt联系方式 Simon Jaschke Siemens AG Healthcare SectorClinical Products DivisionComponents an Vacuum TechnologyH CP CV PV SCM SPTGunther-Scharowsky-Str. 2191058 Erlangen， DeutschlandTel.：+4991317-21818Fax： +49 9131 7-35065 mailto：simon.jaschke.ext@siemens.com Schutzvermerk/ Copyright-Vermerk berflachenkohlenstoffgehalt in mg/m²表面碳含量 mg/m’