各种薄膜的膜厚测定—UV

纳诺仪器nano instrument上海总部网址： http：//nanoinstru.instrument.com.cnhttp：//www.nano-instru.com 各种薄膜的膜厚测定一UV 说明 测定物质的膜厚有各式各样方法，而用紫外，可见分光光度计，可进行简单的无损测定。本文探讨了用紫外、可见分光光度计可测定多少厚度的膜厚。 由图 2.25.1可知薄膜可测定约至0.5um， 由图2.25.44可知厚膜可测定约至60pm(注： 1um=1000nm)。比这更薄或更厚时，得不到波动的干涉光谱，因此无法测定膜厚。为供参考，也出示了图2.25.2和图2.25.3上的中间厚度的测定数据。 用分光光度计测定，膜的表面和里面的反射光互相干扰，得到波动的干涉光谱。厚度可计算在一定波长范围内的光谱上的波数而求出(但需有膜物质的折射率)。 分析条件 膜越薄，光谱上的波数越减少，越厚越增加。这次测定了薄膜和厚膜的界限。 Measuring Mode：ReflectanceSlit Width0.5nmScan SpeedMediumAttachmentSpecular reflectance attachment：for 5° incident angle 图2.25.2 10um保鲜膜(聚氯乙烯) 图2.25.3 63um K透明维尼纶薄膜(聚乙烯醇) 地址：上海市闵行区莲花南路1388弄8号1503-1504室电话：021-6090082960900830 61131051邮箱： info@nano-instru.com 浙江办事处：杭州市莫干山路425号瑞祺大厦814室 Shanghai Nano Instrument Co.，Ltd.