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本文介绍了使用电子探针显微分析仪EPMA?（EPMA-8050G）对接触式IC卡的截面以及IC芯片的布线图进行元素面分析分析的示例。
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本文使用EPMA，对IC卡截面以及IC芯片的布线图进行了元素面分析。通过低倍大范围面分析掌握了卡片整体的结构和各元素的分布情况。此外，在高倍面分析中，实现了布线图中各层和元素对应关系的可视化。EPMA是材料可靠性评价和产品缺陷分析等的有效工具。
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产品配置单
岛津企业管理（中国）有限公司为您提供《IC卡中截面元素分析检测方案(电子探针)》，该方案主要用于电子元器件产品中化学性质检测，参考标准--，《IC卡中截面元素分析检测方案(电子探针)》用到的仪器有岛津场发射电子探针EPMA-8050G
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