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利用共聚焦显微镜，进行半导体激光器的晶圆缺陷检测，以及波导结构的尺寸测量
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n用户：半导体激光器元器件厂、晶圆厂 n使用目的： •晶圆缺陷检查 •光波导路尺寸测量 •介质层等膜厚测量 n功能要求：外延缺陷检查/分类/追踪、高再现性形状测试、纳米级膜厚等 案例1 案例2案例3
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日本lasertec株式会社为您提供《半导体激光器中晶圆缺陷、光波导关键尺寸检测方案(共聚焦显微镜)》，该方案主要用于其他中晶圆缺陷、光波导关键尺寸检测，参考标准--，《半导体激光器中晶圆缺陷、光波导关键尺寸检测方案(共聚焦显微镜)》用到的仪器有日本Lasertec 共聚焦显微镜HYBRID L7
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