太阳能硅片中清水性检测方案(表面处理仪)

上海昭沅仪器设备有限公司 上海浦东新区巨峰路1058弄新紫茂国际大厦3号楼901室电话：021-35359028 www.instsun.com 等离子表面处理技术在光伏行业中的应用 上海昭沅仪器设备有限公司代理美国 Plasma Etch 公司生产的等离子体表面处理设备。专门针对于大学/科研机构、工厂研发的实验室型和工厂批量处理装置，具有移动方便、多种配置功能、超高性能及稳定性、操作方便的特点。 金属氧化物的祛除 化学清洗：表面反应以化学反应为主的等离子体清洗，又称PE。 例：02+e-→2O※+e一○※+有机物→CO2+H2O 从反应式可见，氧等离子体通过化学反应可使非挥发性有机物变成易挥发的H2O 和CO2。 例： H2+e--2H※+e-H※+非挥发性金属氧化物→金属+H2O 从反应式可见，氢等离子体通过化学反应可以去除金属表面氧化层，清洁金属表面。 物理清洗：表面反应以物理反应为主的等离子体清洗，也叫溅射腐蚀(SPE)。 例： Ar+e-→Ar++2e-Ar++沾污→挥发性沾污 Ar+在自偏压或外加偏压作用下被加速产生动能，然后轰击被清洗工件表面，， 一般用于去除氧化物、环氧树脂溢出或是微颗粒污染物，同时进行表面能活化。 ILASMA ETCHWWWW..PPLASMAET .COM 上海浦东新区巨峰路1058弄新紫茂国际大厦3号楼901室电话：021-35359028 www.instsun.com 光学仪器 光学镜片的镀膜技术是整个光学系统的一个重要组成部分，良好的镀膜技术能改善镜片的折射率、阿贝数、散射、衍射和化学性能。光学薄膜真空镀膜技术一般采用物理气相沉积(PVD)技术，包热热蒸发、溅射、离子镀等方法。而在镀膜前的光学镜片一般须经过离心力清洗机和超声波清洗机清洗，但若想要得到超洁净的基体表面，则需进一步的采用等离子体清洗，不仅能去除表面经离心力清洗和超声波清洗后的有机残留物，还能对于后道镀膜技术起到积极作用。 上海昭沅仪器设备有限公司代理美国Plasma Etch 公司生产的等离子体表面处理设备。专门针对于大学/科研机构、工厂研发的实验室型和工厂批量处理装置，具有移动方便、多种配置功能、超高性能及稳定性、操作方便的特点。