废水中氟离子浓度检测方案(其它水质分析)

应用案例Application Notes FBM-160 氟离子浓度分析仪半半导体厂总排口的应用 1.背景介绍 上海市某半导体厂，，专注于研发和制造专业应用的晶圆。晶圆生产工艺复杂，其中蚀刻工序使用氢氟酸溶液进行蚀刻、并用高纯水清洗，在这个工序中产生了大量的高浓度含氟废水，，含氟废水经过加药、混凝沉淀处理后达标排放。 该半导体厂在总排口处安装了一台 FBM-160氟离子浓度分析仪。根据国标《污水综合排放标准》(GB8978-1996)以及环海市环境保护局发布的地方标准《半导体行业污染物排放标准》(DB31)，该半导体厂执行三级标准，其总排口的氟限值为 20 mg/L. 氟离子浓度分析仪的现场图如下图所示，控制器采用管式安装，，电极采用浸入式安装。 2.应用情况 FBM-160氟离子浓度分析仪采用氟离子选择电极法，监测方法符合国标GB7484-1987。氟离子浓度分析仪结构简单，氟离子电极现场采用浸入式安装，在无选配自动清洗组件的前提下，每月人工清洗一次电极，三个月校准一次电极。在正常维护条件下，每年更换一次氟离子电极。现场安装方便，维护较简单，测量值均低于 20 mg/L， 和实验室比对数据良好，符合用户的测量要求。 @ 应用案例Application Notes 3.总结 FBM-160 氟离子浓度分析仪采用国标方法监测一―氟离子选择电极法，不消耗试剂，可更换电极头，减少维护费用；安装简单，，I可在现场采用浸入池中安装，也可以在排口采用流通式安装。可选配自清洗组件，减少用户的人工清洗工作；具备多个量程， 0~99.9 mg/L；0~999 mg/L 或 0~9990 mg/L， 满足含氟废水进排口的不同测量范围需求。 FBM-160氟离子浓度分析仪广泛应于于子子行业的含氟废水监测，在正常维护下，能够满足用户废水总排口的测量需求。 案例类型： 应用案例-FBM-160氟离子浓度分析仪在半导体厂总排口的应用-2018.8.25 HACH中国APP ina ApplicationChTel： 021-22879200|E-Mail： appchina@HACH.COM HACH @ e Right 1. 背景介绍上海 市某半导体 厂，专注于研发和制造业 应用 的晶圆。 晶圆 生产工 艺复杂，其中蚀刻序使用氢氟酸 溶液 进行蚀刻 、并用高纯水清洗， 在这个 工序 中产生了大量的高浓度 含氟废 水，含氟 废水 经过加药 、混凝沉淀处理后 达标 排放 。该半导体厂 在总排口处安装了一台 FBM-160氟离子 浓度 分析仪。 根据 国标 《污水综合排 放标准 》（GB8978-1996）以及上海市环境保护局发布的地方标准《 半导体行业污染物排放标 准》（DB31），该半导体厂执行三级标准，其总排口的 半导体厂执行三级标准，其总排口的 氟限值为 20 mg/L。2. 总结FBM-160氟离子浓度分析仪采用国标方法监测 氟离子浓度分析仪采用国标方法监测 —— 氟离子选择电极法， 不消耗试剂可 更换电极头，减少维护费用； 安装简单 ，可在现场采用浸入池中安装，也以排口流 通式安装。可选配自清洗组件，减少 用户 的人工清洗 工作 ；具备多个量程， 0~99.9 mg/L； 0~999 mg/L 或 0~9990 mg/L，满足含氟废水进排口的不同测量范围需求 ，满足含氟废水进排口的不同测量范围需求 。FBM-160氟离子浓度分析仪广泛 氟离子浓度分析仪广泛 应用于电子行业的含氟废水监测，在正常维护下能够 满足用户废水总排口的测量需求。