曝光模式: 接近式
产地类别: 进口
分辨率: 0.5um以上
光源: 汞灯
光源波长: 紫外光
光强均匀性: ±0.4%
曝光面积: 2-6 英寸(standard)
看了无掩模光刻机/直写光刻机的用户又看了
EVG®610 Mask Alignment System
EVG®610 掩模对准系统
EVG®610是一款紧凑的多功能研发系统,可处理200mm以下的小基板片和晶圆。
技术数据
EVG610支持多种标准光刻工艺,例如真空,硬,软和接近曝光模式,并可选择背面对准。此外,该系统还提供其他功能,包括键对准和纳米压印光刻(NIL)。 EVG610提供快速的处理和重新安装工具,可在不到几分钟的时间内转换用户需求。其先进的多用户概念可以适应从初学者到专家级别的所有需求,因此使其非常适合大学和研发应用。
特征
晶圆/基片尺寸从zui大200 mm / 8'’ 顶侧和底侧对齐能力
高精度对准台 自动楔形补偿序列
电动和配方控制的曝光间隙 支持zui新的UV-LED技术
最小化系统占地面积和设施要求 分步流程指导
远程技术支持:
多用户概念(无限数量的用户帐户和配方,可分配的访问权限,不同的用户界面语言)
敏捷处理和转换重组;台式或带防震花岗岩台的单机版
附加功能:
键对齐 红外对准 纳米压印光刻(NIL)
技术数据
对齐方式:上侧对齐:≤±0.5 μm 底面要求:≤±2,0 μm
红外校准:≤±2,0 μm /基板材料,具体取决于
键对准:≤±2,0 μm NIL对准:≤±2,0 μm
曝光源:汞光源/紫外线LED光源 楔形补偿 全自动-SW控制
晶圆直径(基板尺寸):高达100/150/200毫米
曝光设定:真空接触/硬接触/软接触/接近模式
曝光选项:间隔暴露/洪水暴露/扇区暴露
先进的对齐功能:手动对准/原位对准验证 手动交叉校正 大间隙对齐
系统控制:作业系统:Windows
文件共享和备份解决方案/无限制配方和参数;多语言用户GUI和支持:CN,DE,FR,IT,JP,KR;实时远程访问,诊断和故障排除;
纳米压印光刻技术,紫外线零。
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 技术人员现场培训
免费仪器保养: 2个月1次
保内维修承诺: 软件免费重装,硬件维修
报修承诺: 24小时到达
EVG激光直写光刻机EVG®610 Mask Alignment System的工作原理介绍
激光直写光刻机EVG®610 Mask Alignment System的使用方法?
EVGEVG®610 Mask Alignment System多少钱一台?
激光直写光刻机EVG®610 Mask Alignment System可以检测什么?
激光直写光刻机EVG®610 Mask Alignment System使用的注意事项?
EVGEVG®610 Mask Alignment System的说明书有吗?
EVG激光直写光刻机EVG®610 Mask Alignment System的操作规程有吗?
EVG激光直写光刻机EVG®610 Mask Alignment System报价含票含运吗?
EVGEVG®610 Mask Alignment System有现货吗?
最多添加5台