EVG®620BA  自动键对准系统
EVG®620BA  自动键对准系统

面议

暂无评分

EVG

暂无样本

EVG®620BA 自动键对准系统

--

欧洲

  • 银牌
  • 第5年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

EVG®620 BAAutomated Bond Alignment System

EVG®620BA  自动键对准系统

 

用于晶圆间对准的自动键合对准系统,用于研究和试生产

 

EVG620键合对准系统以其高度的自动化和可靠性而闻名,专为最大150 mm晶片尺寸的晶片间对准而设计。

EV Group的键合对准系统具有最高的精度,灵活性和易用性,以及模块化升级功能,并且已经在众多高通量生产环境中进行了认证。 EVG的键对准系统的精度可满足MEMS生产和3D集成应用等新兴领域中最苛刻的对准过程。

 

 

特征

最适合EVG®501EVG®510EVG®520IS粘合系统

支持最大150 mm晶片尺寸的双晶片或三晶片堆叠的键对准

手动或电动对准台

全电动高分辨率底面显微镜

基于Windows®的用户界面

在不同晶圆尺寸和不同键合应用之间快速更换工具

选件

自动对齐

红外对准,用于内部基板键对准

NanoAlign®封装可增强处理能力

可与系统机架一起使用

面罩对准器的升级可能性

 

技术数据

常规系统配置

桌面

系统机架:可选

隔振:被动

对准方法:背面对齐:±2 μm 3σ  透明对准:±1 μm 3σ

红外校准:选件

对准阶段: 精密千分尺:手动;  可选:电动千分尺

楔形补偿:自动

 

基板/晶圆参数

尺寸:2英寸,3英寸,100毫米,150毫米

厚度:0.1-10毫米

最高 堆叠高度:10毫米

自动对齐:可选的;


售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 技术人员现场培训

免费仪器保养: 2个月1次

保内维修承诺: 软件免费重装,硬件维修

报修承诺: 24小时到达

用户评论
暂无评论
问商家

EVG激光直写光刻机EVG®620BA 自动键对准系统的工作原理介绍

激光直写光刻机EVG®620BA 自动键对准系统的使用方法?

EVGEVG®620BA 自动键对准系统多少钱一台?

激光直写光刻机EVG®620BA 自动键对准系统可以检测什么?

激光直写光刻机EVG®620BA 自动键对准系统使用的注意事项?

EVGEVG®620BA 自动键对准系统的说明书有吗?

EVG激光直写光刻机EVG®620BA 自动键对准系统的操作规程有吗?

EVG激光直写光刻机EVG®620BA 自动键对准系统报价含票含运吗?

EVGEVG®620BA 自动键对准系统有现货吗?

EVG®620BA 自动键对准系统信息由北京亚科晨旭科技有限公司为您提供,如您想了解更多关于EVG®620BA 自动键对准系统报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
移动端

仪器信息网App

返回顶部
仪器对比

最多添加5台