仪器种类: 台式/桌面型
电子枪种类: 冷场发射
产地类别: 进口
二次电子图象分辨率: 1.2 nm(15 kV)1.6 nm(1KV)
放大倍数: 25-1000000X
加速电压: 0.1-30kV
背散射电子图像分辨率: 2.5nm
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仪器简介:
JIB-47000F是集成扫描电镜和聚焦离子束于一身高性能仪器。电子光学系统采用场发射电子枪,可以对进行实时研磨监控。该仪器又是一个微区观察、样品分析、微区研磨的集合体,应用范围广泛。
技术参数:
FIB 分辨率: 5nm, 30kV
SEM分辨率: 1.2 nm(15 kV)1.6 nm(1KV)
FIB束流:最大90nA
SEM束流:最大300nA
气体输入系统 x1-3
主要特点:
监控、切割、组装和三维图像重构连续操作
2大束流,最大90nA
3.提供空前稳定的图像
4.气体注入系统用于刻蚀和沉积
5.最大装样 150 mm
6.气锁式样品交换
7.五轴全对中样品台
8.多个样品分析接口
9.三维图像、能谱、EBSD
产品货期: 365天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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在聚焦离子束领域很有优势,为科研和生产提供了可靠的工具。质量也不错。