【Hitachi】日立扫描电子显微镜SU1510_参数

核心参数

电子枪种类： 钨灯丝

二次电子图象分辨率： 3.0nm（高真空，30kV）

放大倍数： 5 ~ 300,000倍

加速电压： 0.3~30 kV

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主机宽度仅为55cm，体型小巧，具有3.0nm分辨率的高性能可变压力扫描电镜。

主要特点：

1、仪器主体比过去减小20%，可以更加自由地选择安装场地。

2、标配低真空功能，可以对不导电进行无喷涂观察。高低真空转换一键完成。

3、样品台可载入最大直径153mm，高度为60mm(WD=15mm)的样品，并进行EDX分析。

4、强大的鼠标控制功能，可实现电镜的所有操作。

5、分子泵真空系统，洁净无污染。

技术参数：

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