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SU6600
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亚洲
看了扫描电镜（SEM）的用户又看了
| 二次电子分辨率 | 1.2nm@30KV |
| 3.0nm@1KV | |
| 4.5nm@30KV,150Pa | |
| 背散射电子分辨率 | 3.5nm@30KV |
| 放大倍率 | 10~600,000（输出尺寸127x96mm） |
| 电子枪类型 | 热场发射 |
| 探针电流 | 1pA~200nA |
| 加速电压 | 0.5~30KV |
| 物镜光阑 | 自清洁、4孔可动式 |
| 束闸 | 电磁式 |
| 样品台 | 电脑控制的5轴优中心马达样品台 |
| X | 0~110mm |
| Y | 0~110mm |
| Z | 4~40mm |
| T | -5°~+70° |
| R | 360° |
| 最大样品尺寸 | 直径150mmx 高40mm |
| 探头 | 二次电子探头 |
| 背散射电子探头 |
