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【Hitachi】SU9000新型超高分辨冷场发射扫描电镜
【Hitachi】SU9000新型超高分辨冷场发射扫描电镜

【Hitachi】SU9000新型超高分辨冷场发射扫描电镜

¥500万 - 700万

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日立

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SU9000

亚洲

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天美仪拓实验室设备（上海）有限公司
  • 钻石
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  • 一般经销商
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核心参数

电子枪种类： 冷场发射

二次电子图象分辨率： 0.4nm(30KV)

放大倍数： 高：800-3,000,000x

加速电压： 0.5-30KV(标准模式)

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日立2011年新推出了SU9000超高分辨冷场发射扫描电镜，达到扫描电镜世界最高二次电子分辨率0.4nm和STEM分辨率0.34nm。日立SU9000采取了全新改进的真空系统和电子光学系统，不仅分辨率性能明显提升，而且作为一款冷场发射扫描电镜甚至不需要传统意义上的Flashing操作，可以高效率的快速获取样品超高分辨扫描电镜图像。
特点：
1. 新型电子光学系统设计达到扫描电镜世界最高分辨率：二次电子0.4nm（30KV），STEM 0.34nm（30KV）。
2. Hitachi专利设计的E×B系统，可以自由控制SE和BSE检测信号。
3. 全新真空技术设计使得SU9000冷场发射电子束具有超稳定和高亮度特点。
4. 全新物镜设计显著提高低加速电压条件下的图像分辨率。
5. STEM的明场像能够调整信号检测角度，明场像、暗场像和二次电子图像可以同时显示并拍摄照片。
6. 与FIB兼容的侧插样品杆提高更换样品效率和高倍率图像观察效率。
项目 技术指标
二次电子分辨率 0.4nm （加速电压30kV，放大倍率80万倍）
1.2nm （加速电压1kV，放大倍率25万倍）
STEM分辨率 0.34nm（加速电压30kV，晶格象）
观测倍率 底片输出 显示器输出
LM模式 80~10,000x 220~25,000x
HM模式 800~3,000,000x 2,200~8,000,000x
样品台 侧插式样品杆
样品移动行程 X ±4.0mm
Y ±2.0mm
Z ±0.3mm
T ±40度
标准样品台 平面样品台：5.0mm×9.5mm×3.5mmH
截面样品台：2.0mm×6.0mm×5.0mmH
专用样品台 截面样品台：2.0mm×12.0mm×6.0mmH
双倾截面样品台：0.8mm×8.5mm×3.5mmH
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