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X射线能谱仪（EDS）是一种用于分析物质成分的仪器。它利用由激发物质所释放出来的能量，测量不同元素所发射出来的特征X射线谱线，从而确定物质样品的组成。 EDS通常作为扫描电子显微镜（SEM）或透射电子显微镜（TEM）的附件使用。SEM或TEM通过扫描或照射样品表面，产生电子和X射线，而EDS则在样品表面收集这些X射线，并将其转换为电信号。这些信号可以通过计算机处理和显示，以确定样品中存在的元素种类、数量和分布。 EDS主要应用于材料分析、地质学、化学等领域。它可以分析各种材料，包括金属、合金、陶瓷、生物材料等。在材料科学领域，EDS常用于分析材料成分、晶体缺陷、化学反应等问题。此外，EDS还可以应用于矿物鉴定、环境污染监测等方面。
X射线能谱仪选型心得 更多
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“如何得到更真实、更理想的EDS能谱面分布图——牛津AZtec软件的使用心得与技巧”
EDX能谱分析是一种十分重要的微区成分分析手段，但对于存在能谱谱峰互相重叠的元素，其面分布数据可能存在混淆甚至错误的情况。牛津公司的EDS能谱软件AZtec中的TruMap功能可以成功解决这一问题，通过在构建面分布数
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