聚焦离子束显微镜

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聚焦离子束显微镜（Focused Ion Beam Microscope, FIB）是一种利用离子束进行刻蚀、切割、打孔、注入等加工和分析材料的高精度成像设备。相比于传统的扫描电子显微镜，FIB具有更高的空间分辨率和操作精度。离子束可以通过调节加速电压、束流强度、扫描速度等参数来控制进行加工或者成像的位置和形状。 FIB显微镜主要包括测量系统、束发生器、光学系统、进样器、离子束精确定位系统等部分。其在加工领域应用广泛，可以在各种材料上进行纳米加工、刻蚀、线路修复、形态改变等。同时，在微电子、材料科学、生物医学等领域，FIB显微镜的成像能力也为研究人员提供了无限的可能性，可以通过FIB进行高分辨率成像、化学元素分析、离子注入、原位观测等任务，对材料结构、化学成分等进行详细的表征和分析。