电子枪种类: 冷场发射
看了扫描电镜(SEM)的用户又看了
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分辨率: 1.0nm@25kV,<2.0nm@1kV,WD2mm(Through-lens detector)
加速电压:0.1kV --- 30kV
探测器: 样品室内二次电子探头
Through -Lens探头
样品室内BSE探头
罗宾逊/4分割固体背散射电子探头
样品室真空:1 - 150Pa
放大倍数: <10倍 至 >900,000倍
样品台移动:X=100mm,Y=100mm,,Z=50mm, Z’=10mm
Tilt=-5~+90°, Rot=360°
样品室尺寸:413mm宽x313mm深x313mm高
可配附件: EDS,WDS,EBSD,CL,STEM,电子束消隐装置,激光定位仪,电子枪隔离阀, Fastrac光学显微镜,冷台,热台,拉伸台
热场发射肖特基电子光源
Through-Lens上位
二次电子/背散射电子探测器
可变能量技术,样品室内无场工作
超长的灯丝寿命 (一般 15,000hrs,>25,000hrs可达)
超大样品室,最大承载10Kg重的样品
最多添加5台