磁控溅射仪

外形尺寸

424×2 65×260mm

424×295×260mm

424×265×260mm

424×295×260mm

输入电压

                          220V/50Hz (可定制 110V 输入)

溅射电压

2400V

600V

工作原理

直流溅射

磁控溅射

最大功率

500W

450W

靶材尺寸

                                 φ57×0.1 2mm

可选靶材

金、铂、银、铜、铝、铅等常用金属靶材

真空泵

旋片式真空泵 1L/s（可选配无油涡旋泵）

真空室

                                  φ128×130mm

极限真空

                           0.1Pa（电阻式真空规）

抽气节拍

              ＜90s

样品杯

φ90 样品杯 1 个/φ25 样品杯 4 个/φ15 样品杯 6 个

样品室进气接头

Φ4 快拧接头（外径 4mm，内径 2.5mm 气管）

样品室进气

   自动

   手动

   自动

 可固定不动

放气

   自动

   手动

   自动

   手动

工作电流

  2-30mA

 任意可调

2-30mA

任意可调

  2-50mA

  任意可调

30-50mA

固定值

电压可调

   否

    否

   是

    否

颗粒大小

10-20nm

6-10nm

工作气体

          空气或氩气

保护功能

过流保护（＞50mA 自动切断）、真空保护（＞100Pa 自动切断）

产品特点

全自动控制、简单易用

性价比高

膜层均匀，颗粒更细，可在较好的真空度下实现大电流溅射，基本无

温升，不损伤样品。

镀膜附着力

一般

较强

适用样品

通用样品（对温度不敏感），如无机盐粉末、耐火材料、纤维等。

所有样品，尤其是对温度敏感样 品，对覆膜颗粒度和附着力有要求的样品如电池隔膜、滤膜、各种生物样品等