F250/1500涡轮分子泵

仪器简介：
应用领域： 广泛应用于表面分析、加速器技术、等离子体技术、电真空器件的制造及真空技术的各个领域。

主要特点：
F250/1500系列涡轮分子泵包括以下型号：
　　F250/1500　　——普通轴承水冷涡轮分子泵
　　F250/1500T ——陶瓷轴承水冷涡轮分子泵
　　F250/1500N ——耐腐蚀陶瓷轴承水冷涡轮分子泵
特点:
　　F250/1500普通型涡轮分子泵采用进口精密金属球轴承支撑，冷却方式为通水冷却，转子经过精密动平衡，运转可靠、振动小；电机为鼠笼式三相电机；轴承润滑采用滴油润滑，这种润滑方式决定了分子泵只能竖直安装。
　　F250/1500T陶瓷轴承涡轮分子泵，区别于普通型的特点是轴承采用进口精密陶瓷球轴承支撑，陶瓷轴承的球体是采用一种特殊的复合材料，它较普通的金属球体质量小，所以旋转中离心力小、摩擦生热少、磨损小，一般说来，陶瓷轴承的使用寿命是普通轴承的两倍以上。
　　F250/1500N耐腐蚀涡轮分子泵，区别于普通型的特点是轴承采用耐腐蚀的陶瓷球轴承支撑，润滑油采用高化学稳定性的专用防腐油，轴系设计有保护气路，工作时通入保护性气体N2。该泵可用于腐蚀性气氛工作环境如离子刻蚀、等离子体和半导体器件生产中。