2L(3L)-100系列溅射离子泵
2L(3L)-100系列溅射离子泵

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2L(3L)-100

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中国大陆

  • 金牌
  • 第22年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
该产品已下架
核心参数

仪器种类: 溅射离子泵

产品类型: 无油泵

仪器简介:
溅射离子泵是一种获得清洁超高真空的真空获得设备,它具有清洁、真空度高、无噪声、无振动、操作方便等优点。离子泵工作是封闭系统,不需要有连续工作的前级真空系统。
溅射离子泵是无油超高真空机组的主泵,可应用于高能粒子加速器,受控热核反应装置、电真空器件、半导体材料制备、电子显微镜、质谱仪等科学实验装置及其它需要超高真空的工业设备中。

技术参数:
1.型号  2L-100  3L-100
2.入口法兰  CF150  CF150
3.抽速(升/秒) 氮气 120   110
        氩气 1.2  24
4.启动压强(Pa)  ≤5×10-4  ≤5×10-4
5.极限压强(Pa)  ≤7×10-8  ≤7×10-8
6.烘烤(℃) 带磁铁温度 200  200
       不带磁铁  300  300
7.工作电压(KV)  +7  -5
8.抽气单元(个)  4  4
9.重量(kg)    30  30
10.加热罩     无  无


主要特点:
1.清洁
2.真空度高
3.无噪声
4.无振动
5.操作方便                    

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