C60-20S 离子源系统
C60-20S 离子源系统

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束蕴仪器

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C60-20S

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欧洲

  • 金牌
  • 第7年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

简介

C60-20S是一种高性能离子束,设计用于溅射表面,具有较小的损伤和减少的沿周溅射效应。 

C60-20S在高达20 kV的电压下工作,可有效地溅射材料,且损伤较小,无需重新沉积碳。

C60是XPS、AES和SIMS的理想升级组件,可在多种材料上均匀溅射。

       

 

主要参数


主要应用                溅射                
光斑尺寸                100 µm                
扫描范围                4 x 4 mm                
能耗范围                5 – 20 kV                
电流范围                50 nA                
法兰至机头长度                142 mm                
推荐工作距离                50 mm                
电源装置                3U x 19’’ rack mountable unit    
电源要求                110-240VAC 13A 50/60Hz                
软件要求                        PC running Windows 10 or later                   
集成法兰规格                NW 63 CF                


特点:  


  电流密度高,蚀刻速度更快;

◇  与单原子束相比,可减少化学损伤;

◇  不同材料和晶体取向的溅射率一致

◇  闸阀,便于快速维修;

◇  源寿命长;


应用领域: 


◇  聚合物的高速、低化学损伤蚀刻;

◇  C60离子溅射的速度比单原子束(包括氩和氙)快50倍,同时 对底层材料造成的损害要小得多;

◇  下图比较了15kev的C60溅射产率与15kev金、氙镓和氩的TRIM数据。在相反的例子中,用C60和单原子氩离子束溅 射清洗PTFE薄膜;

◇  虽然两种离子束都去除了表面污染,但只有C60离子束的表 面化学性质没有发生变化;

         



               


        

   

售后服务承诺

保修期: 面议

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 面议

免费仪器保养: 面议

保内维修承诺: 面议

报修承诺: 面议

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