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简介：
C60-20S是一种高性能离子束，设计用于溅射表面，具有较小的损伤和减少的沿周溅射效应。
C60-20S在高达20 kV的电压下工作，可有效地溅射材料，且损伤较小，无需重新沉积碳。
C60是XPS、AES和SIMS的理想升级组件，可在多种材料上均匀溅射。
主要参数：
| 主要应用 | 溅射 |
| 光斑尺寸 | 100 µm |
| 扫描范围 | 4 x 4 mm |
| 能耗范围 | 5 – 20 kV |
| 电流范围 | 50 nA |
| 法兰至机头长度 | 142 mm |
| 推荐工作距离 | 50 mm |
| 电源装置 | 3U x 19’’ rack mountable unit |
| 电源要求 | 110-240VAC 13A 50/60Hz |
| 软件要求 | PC running Windows 10 or later |
| 集成法兰规格 | NW 63 CF |
特点:
◇ 电流密度高，蚀刻速度更快；
◇ 与单原子束相比，可减少化学损伤；
◇ 不同材料和晶体取向的溅射率一致；
◇ 闸阀，便于快速维修；
◇ 源寿命长；
应用领域：
◇ 聚合物的高速、低化学损伤蚀刻；
◇ C60离子溅射的速度比单原子束(包括氩和氙)快50倍，同时 对底层材料造成的损害要小得多；
◇ 下图比较了15kev的C60溅射产率与15kev金、氙镓和氩的TRIM数据。在相反的例子中，用C60和单原子氩离子束溅 射清洗PTFE薄膜；
◇ 虽然两种离子束都去除了表面污染，但只有C60离子束的表 面化学性质没有发生变化；
束蕴仪器离子溅射仪C60-20S的工作原理介绍
离子溅射仪C60-20S的使用方法?
束蕴仪器C60-20S多少钱一台?
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企业名称
束蕴仪器（上海）有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310120003388984
成立日期
2016-09-23
注册资本
500
经营范围
仪器仪表、实验室设备、机械设备及配件、机电设备及配件、电子产品、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、民用爆炸物品、易制毒化学品)、一般劳防用品、玻璃制品的批发、零售,从事仪表科技、机械科技、机电科技、电子科技领域内的技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务,一类医疗器械、仪表仪器的维修,一类医疗器械批发、零售,自有设备租赁,设计、制作各类广告,电子商务(不得从事金融业务),从事货物及技术的进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
束蕴仪器（上海）有限公司
公司地址
上海市松江区新桥镇千帆路288弄3号楼602室-1
客服电话
公司名称： 束蕴仪器（上海）有限公司
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