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晶圆XRD的特点：
◇ 完全自动化的晶圆处理和分类系统（例如：盒到盒）。
◇ 晶体取向和电阻率测量
◇ 晶片的几何特征（缺口位置、缺口深度、缺口开口角度、直径、平面位置和平面长度）的光学测定
◇ 未抛光的晶圆和镜面的距离测量
◇ MES和/或SECS/GEM接口
全自动化的晶圆分拣
独特的Omega-scan方法：
◇ 高的精度
◇ 测量速度： < 5秒/样品
◇ 易于集成到工艺线中
◇ 典型的标准偏差倾斜度（例如：Si 100）： < 0.003 °，小于< 0.001 °。
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企业名称
束蕴仪器（上海）有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310120003388984
成立日期
2016-09-23
注册资本
500
经营范围
仪器仪表、实验室设备、机械设备及配件、机电设备及配件、电子产品、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、民用爆炸物品、易制毒化学品)、一般劳防用品、玻璃制品的批发、零售,从事仪表科技、机械科技、机电科技、电子科技领域内的技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务,一类医疗器械、仪表仪器的维修,一类医疗器械批发、零售,自有设备租赁,设计、制作各类广告,电子商务(不得从事金融业务),从事货物及技术的进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
束蕴仪器（上海）有限公司
公司地址
上海市松江区新桥镇千帆路288弄3号楼602室-1
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公司名称： 束蕴仪器（上海）有限公司
公司地址： 上海市松江区新桥镇千帆路288弄3号楼602室-1 联系人： 蒋健林 邮编： 201106 联系电话： 400-860-5168转4058
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