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Excitation Process激发过程
离子产生和表面灵敏度
一束高能初级离子轰击样品表面激发出原子和分子碎片
只一小部分激发出的粒子以离子的状态离开表面，被质量分析器探测出来
对于无机材料, 原子离子百分含量> 10%
对于有机材料，原子和分子离子碎片百分含量可以从 .001% 到 1%
只从表面2个分子层激发出的粒子可以以离子态离开表面
TOF-SIMS 主要功能
采集离子质谱图用于表面元素（原子离子），同位素，分子化学结构（通过分子离子碎片）的表征
点或面扫描（2D成像）得到成分分布像，观察不同成分在同一条线或面的分布情况
深度剖析和3D成像可以分析不同的膜层结构和成分深度分布信息：多层膜层结构表征，成分掺杂深度，扩散，吸附等表征
所有元素探测– H, He, Li, etc. （H~U)
同位素的探测 – 2H, 3H, He, Li, 18O, 13C, etc.
详细的分子信息 – 有机和无机
分子成像
平行探测–图像中每一像素点都有对应的全质谱
表面灵敏 – 样品表面 1-3 个原子 /分子层
痕量分析灵敏度高 – 0.1 到 1 ppm 原子浓度
快速数据采集 – 通常 1 – 15 分钟 (表面 IMS)
高空间分辨率
< 70 nm （成像模式下）
< 0.5 μm （保持较好质量分辨率下）
表面物理形貌信息
离子击发出的 SEI （二次电子像） < 60 nm
大的立体接收角 ~ 180o
可分析所有材料 – 导体，半导体和绝缘材料
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企业名称
束蕴仪器（上海）有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310120003388984
成立日期
2016-09-23
注册资本
500
经营范围
仪器仪表、实验室设备、机械设备及配件、机电设备及配件、电子产品、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、民用爆炸物品、易制毒化学品)、一般劳防用品、玻璃制品的批发、零售,从事仪表科技、机械科技、机电科技、电子科技领域内的技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务,一类医疗器械、仪表仪器的维修,一类医疗器械批发、零售,自有设备租赁,设计、制作各类广告,电子商务(不得从事金融业务),从事货物及技术的进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
束蕴仪器（上海）有限公司
公司地址
上海市松江区新桥镇千帆路288弄3号楼602室-1
客服电话
公司名称： 束蕴仪器（上海）有限公司
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