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离子减薄仪是一种利用高能离子轰击材料表面，将表面原子与分子逐层剥离的加工设备。其主要应用在材料科学、电子学、光学等领域中的样品制备和研究，可以在不改变样品化学和物理性质的情况下调节其厚度，制备出超薄材料。 离子减薄仪的工作原理是，将高能离子束照射到材料表面，使得离子与材料原子及分子发生碰撞，从而将表面的原子和分子逐层轰击掉。离子束的能量和强度可以通过调节加速电压和束流密度来实现，并且可以对材料进行局部加工。通过这种方法，可以制备出平整的、具有均匀厚度的材料样品，并可在不同领域中广泛应用。
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