产地类别： 国产
靶材材质： 金
靶材尺寸： Ф50mm
控制方式： 手动
样品仓尺寸： 直径：160mm，高：120mm
样品台尺寸： Ф50mm
溅射气体： 空气，氩气
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一、产品应用：
JS-600M小型磁控溅射仪采用二极（DC）直流溅射原理设计，带磁控靶头，有水冷功能。设备操作简单方便，适用于扫描电子显微镜（SEM）样品制备,非导体材料实验电极的制作。
磁控溅射为冷溅射，对样品表面的升温较低，适用对温度较敏感的薄膜样品。用户可以根据自己的需要自行选择不同的真空条件，溅射电流。大尺寸的真空腔体设计，满足大样品的溅射需求。标配一片金靶，纯度为99.999%，为获得高质量的金膜提供了良好的基础。
二、配置及技术指标：
1.水冷却磁控靶，靶面直径为50mm；冷却水接口：6*4mm快速插头。
2.主机规格：L360mm*W300mm*H380mm
3.靶（上部电极）：金：直径：50mm，厚度：0.1mm
4.真空样品室：直径：160mm，高：110mm
5.溅射面积：Ф50mm
6.工作真空：2×10-1—6×10-2 mbar
7.离子电流表：0-100mA
8.定时器：根据溅射习惯设定单次溅射时间。
9.针阀： 配有进气口，微量充气调节，可连接φ4*2.5mm软管。
10.工作室工作媒介气体：空气或氩气等多种气体
11.溅射电压：-1600 DCV
12. 飞跃真空泵（VRD-4）：1.1L/S
三、 产品特点
1. 轻便、溅射面积大
2. 可以溅射铂、金及银等金属
3. 溅射效率高，可水冷降温
备注：JS-600M小型磁控溅射仪可适用的靶材：金、铂、银
| 用户单位 | 采购时间 |
|---|---|
| 贵州师范学院 | 2016-12-22 |
| 中国科学院长春应用化学研究所 | 2016-11-18 |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 无
免费培训: 电话或者视频沟通
免费仪器保养: 无
保内维修承诺: 免费维修
报修承诺: 24小时提供解决方案
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