少子寿命测试仪--MDPinline ingot晶锭在线面扫检测仪
少子寿命测试仪--MDPinline ingot晶锭在线面扫检测仪

¥80万 - 100万

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Freiberg Instruments

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MDPinline ingot

--

欧洲

  • 金牌
  • 第7年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
该产品已下架
核心参数

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MDPinline ingot系统是世界上最快的多晶硅晶锭电学参数特性测量工具。它是专为高通量工厂的单块晶锭测试而研发的。每块晶锭可以在不到一分钟时间里就完成其四个面的检测,且所有的图谱(寿命,光电导率,电阻率)都可以同时进行测量。 

 

该系统包括一个数据库和相关的统计数据评估,可自动确定精确的切割位置,以提高成品率。主要用于材料质量监控,炉选择和工艺改进。


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性能▼

无接触、无破坏的半导体特性

少数载流子寿命的检测能力

先进的灵敏度让所有隐形缺陷可视化

自动切割标准定义

获取体材料性质的稳态测量

完全自动化的内联集成

对太阳能级硅錠进行扫描,1mm分辨率

测量时间:1分钟内完成晶锭的面扫描,可自动测量所有4个面

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Automated determination of cut off criteria


优势▼

保持着先进光伏晶圆厂多晶硅晶锭在线特性快速检测的世界记


在1分钟内完成分辨率大于1mm成像扫描测试,同时可完成电导类型转变的空间分布扫描和电阻率的


线扫描测试。客户定义的切割标准可以传输到晶圆厂数据库,该数据库允许对下一代光伏晶圆厂进行完全自动化的材料监控。


对炉料进行质量控制和炉况监测,并进行失效分析。特殊的“underneath the surface”测量技术大大减少了表面重组造成的数据失真。


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Recognition of cracks, chunks etc.


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Automated cut criteria definition, lifetime map

 

技术参数▼

样品

多晶硅晶锭

样品尺寸

125 x 125到 210 x 210 mm2

硅錠长度(Max)

600 mm

电阻率

0.2 - 103 Ohm cm

电导类型

p, n

材质

多晶硅

检测性能

寿命(稳态或非平衡(μ-PCD)可选择的),光电导性

激发光源

980 nm (默认)

测量时间取决于样品

例如1mm分辨率 156 x 156 mm2, 300 mm:不到2分钟

尺寸

2300 x 800 x 1200 mm, 重量:250 kg

电源

110/220V, 50/60 Hz, 8 A


售后服务承诺

保修期: 面议

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 面议

免费仪器保养: 面议

保内维修承诺: 面议

报修承诺: 面议

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