扫描电镜不导电样品磁控溅射镀膜仪常见问题解决

讲师：李丽

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课程基本信息

课程类型：精品课
课程有效期：购买后24个月
课程节数：1节
课程分类：其他|其他

李丽

李丽，博士，高级实验师，南京理工大学分析测试中心关键实验技术人员。主要负责Bruker D8 Advance X射线衍射仪，氦离子显微镜和电镜辅助制样高分辨溅射仪。2011年入职南京理工大学，2011年-2015年在原材料学院材料结构与性能测试中心从事专业实验室建设、大型设备购置和安装，日常开放运行的信息化建设与管理等工作。2016年-2020年，先后参加了布鲁克AXS部门、蔡司显微镜部门等操作员培训，负责Bruker D8 Advance X射线衍射仪，电镜辅助制样高分辨溅射仪的日常开放、上机服务和维护。2021年至今，负责氦离子显微镜的氦离子束功能恢复和维修以及技术学习，积极配合中心在微纳加工方便扩大开放服务。

随着电镜技术和应用快速发展，越来越多电镜用户对样品前处理提出了更高的要求。其中磁控溅射镀膜仪就专用来给场发射扫描电镜不导电样品进行喷金镀膜。本作品主要从两大方面介绍磁控溅射镀膜仪。 1.简易演示真空磁控溅射镀膜过程。这点往往是仪器培训中学员最需要了解并最感兴趣。 2介绍常见问题和解决办法： 1）真空问题；2）Ar气进气排气；3）靶材；4）成膜厚度；5）溅射速率

视频章节总时长：0.1小时课程目录