国仪量子超高分辨场发射扫描电子显微镜SEM5000X
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国仪量子

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SEM5000X

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中国大陆

核心参数

仪器种类: 落地式/传统大型

电子枪种类: 热场发射

产地类别: 国产

放大倍数: 1 ~ 2,500,000 x

加速电压: 20 V ~ 30 kV

样品台: 五轴机械优中心样品台,X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm,T: -10°~+70°,R: 360°

检测器系统: 镜筒内电子探测器,旁侧二次电子探测器(ETD),插入式背散射电子探测器(BSED) ,插入式扫描透射探测器(STEM)

创新点

•超高分辨率成像,达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV •样品台减速和高压隧道技术组合的双减速技术,挑战极限样品拍摄场景 •高精度机械优中心样品台、超稳定性的机架减震设计,可搭配整体罩壳设计,极大减弱环境对极限分辨率的影响 •自主可控,扩展性强,集成化设计的离子源更换时间快,极致的售后服务,提供免费的三年质保无忧服务

SEM5000X是一款超高分辨率场发射扫描电子显微镜,其分辨率达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物镜设计、高压隧道技术(SuperTunnel)以及镜筒工艺升级,实现了低电压分辨率的进一步提升。全新设计的样品仓,扩展接口增加至16个,快速换样仓最大支持8寸晶圆(最大直径208 mm),极大扩展应用范围。高级扫描模式和自动功能增强,带来了更强的性能和更好的体验。

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产品优势

超高分辨率成像,达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV

样品台减速和高压隧道技术组合的双减速技术,挑战极限样品拍摄场景

高精度机械优中心样品台、超稳定性的机架减震设计,可搭配整体罩壳设计,极大减弱环境对极限分辨率的影响

最大支持8寸晶圆(最大直径208 mm)的快速换样仓,满足半导体和科研应用需求


应用案例



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产品参数

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售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 现场技术培训和年度系统培训

免费仪器保养: 根据合同约定

保内维修承诺: 非人为损坏免费上门维修,部件免费更换,消耗品除外

报修承诺: 24小时全天候响应,确保国内客户24小时内给予明确解决方案,48小时内到场维修

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国仪量子扫描电镜SEM5000X的工作原理介绍

扫描电镜SEM5000X的使用方法?

国仪量子SEM5000X多少钱一台?

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国仪量子SEM5000X的说明书有吗?

国仪量子扫描电镜SEM5000X的操作规程有吗?

国仪量子扫描电镜SEM5000X报价含票含运吗?

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国仪量子超高分辨场发射扫描电子显微镜SEM5000X信息由国仪量子技术(合肥)股份有限公司为您提供,如您想了解更多关于国仪量子超高分辨场发射扫描电子显微镜SEM5000X报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
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布鲁克电子显微纳米分析仪器部
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