产地类别： 进口
名称：原子层沉积系统
品牌：PICOSUN
产地：芬兰
型号：PICOSUN™ ALD P-1000 Pro
PICOSUN™ P系列量产ALD系统定义了高产量ALD的新时代。我们全自动化、真空集群与产线兼容的P系列ALD确保了最大的产出效率，并且具有世界级的工艺纯度和薄膜均匀性，甚至能完全满足具有最严格要求的半导体行业标准。PICOSUN™ P系列ALD高效紧凑的设计节约了昂贵的场地成本，系统的易维护性减少了停工期。ALD技术可以覆盖各种形状、各种表面的样品，可以覆盖最细小的地方，最难到达的地方。具有高度的保形性、均一性及100%无针孔。这使得ALD可以应用于各种行业里，实现各种表面的保护。ALD薄膜可以附着在各种表面上，例如金属，玻璃，塑料，乃至纤维及粉末。作为气相、低温的沉积技术，ALD薄膜可以生长在非常敏感的表面上，例如聚合物薄膜。
Picosun的ALD技术应用在钟表部件、珠宝、硬币上进行防着色，防腐蚀的装饰涂层。在生物植入医疗部件上的生物兼容、生物活性涂层。致密、惰性、密封、弹性、透明的ALD薄膜技术挑战传统的膜生长方式。在PCB防腐蚀保护、防摩损等领域，ALD层大大提升了部件的质量、可靠性及寿命。
| ALD工业领域及应用 | |
| 产品 | ALD应用 |
医疗植入（牙科，连接技术） 手术固定器 | 植物活性层， 用来提高骨融 合，生物兼容的包覆层 |
植入医疗器件 （心脏起搏器，耳蜗植入） | 生物兼容包覆层 |
| 收藏性硬币 | 防着色涂层 |
| 钟表部件 | 防着色层或装饰层 |
| 珠宝 | 防着色层或装饰层 |
| PCB | 防锡晶须及腐蚀 |
| 衬底尺寸和类型 | 156 mm x 156 mm硅片800～1000片/批次（双面/背对背） 高达400 mm x 600 mm玻璃基板30～50片/批次（双面/背对背） 大批量的3D产品（例如：钟表部件，珠宝，硬币，医疗植入部件，机械部件等） 多孔，通孔，高深宽比（HAR）样品 |
| 工艺温度 | 50 - 500 °C |
| 基片传送选件 | 气动升降（手动装载，带叉车forklift cart） 全自动转载，用工业机器人实现 |
| 前驱体 | 液态、固态、气态、臭氧源 前驱源余量传感器，并提供清洗和装源服务 8根独立源管线，最多加载12个前驱体源 |
| 重量 | 2000 kg |
| 尺寸(W x H x D) | 230 cm x 270 cm x 125 cm |
| 选件 | PICOFLOW™ 扩散增强器，N2发生器，尾气处理器，定制设计，与工厂软件连接服务。 |
| 验收标准 | 标准设备验收标准为 Al2O3 工艺 |
