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Picosun™ALD-P1000原子层沉积技术

品牌: Picosun
产地: 芬兰
型号: PICOSUN™ ALD P-1000 Pro
样本: 下载
报价: ¥100万 - 200万

核心参数

产地类别: 进口

产品介绍

名称:原子层沉积系统
品牌:PICOSUN
产地:芬兰
型号:PICOSUN™ ALD P-1000 Pro

PICOSUN™ P系列量产ALD系统定义了高产量ALD的新时代。我们全自动化、真空集群与产线兼容的P系列ALD确保了最大的产出效率,并且具有世界级的工艺纯度和薄膜均匀性,甚至能完全满足具有最严格要求的半导体行业标准。PICOSUN™ P系列ALD高效紧凑的设计节约了昂贵的场地成本,系统的易维护性减少了停工期。ALD技术可以覆盖各种形状、各种表面的样品,可以覆盖最细小的地方,最难到达的地方。具有高度的保形性、均一性及100%无针孔。这使得ALD可以应用于各种行业里,实现各种表面的保护。ALD薄膜可以附着在各种表面上,例如金属,玻璃,塑料,乃至纤维及粉末。作为气相、低温的沉积技术,ALD薄膜可以生长在非常敏感的表面上,例如聚合物薄膜。


Picosun的ALD技术应用在钟表部件、珠宝、硬币上进行防着色,防腐蚀的装饰涂层。在生物植入医疗部件上的生物兼容、生物活性涂层。致密、惰性、密封、弹性、透明的ALD薄膜技术挑战传统的膜生长方式。在PCB防腐蚀保护、防摩损等领域,ALD层大大提升了部件的质量、可靠性及寿命。

ALD工业领域及应用
产品ALD应用

医疗植入(牙科,连接技术)

手术固定器

植物活性层, 用来提高骨融

合,生物兼容的包覆层

植入医疗器件

(心脏起搏器,耳蜗植入)

生物兼容包覆层
收藏性硬币防着色涂层
钟表部件防着色层或装饰层
珠宝防着色层或装饰层
PCB防锡晶须及腐蚀


衬底尺寸和类型156 mm x 156 mm硅片800~1000片/批次(双面/背对背)
高达400 mm x 600 mm玻璃基板30~50片/批次(双面/背对背)
大批量的3D产品(例如:钟表部件,珠宝,硬币,医疗植入部件,机械部件等)
多孔,通孔,高深宽比(HAR)样品
工艺温度50 - 500 °C
基片传送选件气动升降(手动装载,带叉车forklift cart)
全自动转载,用工业机器人实现
前驱体液态、固态、气态、臭氧源
前驱源余量传感器,并提供清洗和装源服务
8根独立源管线,最多加载12个前驱体源
重量2000 kg
尺寸(W x H x D)
230 cm x 270 cm x 125 cm
选件PICOFLOW™ 扩散增强器,N2发生器,尾气处理器,定制设计,与工厂软件连接服务。
验收标准标准设备验收标准为 Al2O3 工艺


工商信息

企业名称

北京正通远恒科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

110105001988017

成立日期

2001-03-09

注册资本

30

经营范围

科技产品的技术开发、技术培训、技术服务、技术咨询;信息咨询(不含中介服务);市场调研;财务咨询;零售仪器仪表、机械设备、电器设备、化工产品(不含一类易制毒化学品)、建筑材料、五金交电、计算机及配件、百货;承办展览展示;组织文化艺术交流。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)

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北京正通远恒科技有限公司为您提供Picosun™ALD-P1000原子层沉积技术PICOSUN™ ALD P-1000 Pro,PicosunPICOSUN™ ALD P-1000 Pro产地为芬兰,属于进口原子层沉积设备,除了Picosun™ALD-P1000原子层沉积技术的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多原子层沉积设备,北京正通远恒客服电话400-860-5168转0338,售前、售后均可联系。
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