核心参数
产地类别: 进口
名称:原子层沉积系统
品牌:PICOSUN
产地:芬兰
型号:PICOSUN™ ALD P-1000 Pro
PICOSUN™ P系列量产ALD系统定义了高产量ALD的新时代。我们全自动化、真空集群与产线兼容的P系列ALD确保了最大的产出效率,并且具有世界级的工艺纯度和薄膜均匀性,甚至能完全满足具有最严格要求的半导体行业标准。PICOSUN™ P系列ALD高效紧凑的设计节约了昂贵的场地成本,系统的易维护性减少了停工期。ALD技术可以覆盖各种形状、各种表面的样品,可以覆盖最细小的地方,最难到达的地方。具有高度的保形性、均一性及100%无针孔。这使得ALD可以应用于各种行业里,实现各种表面的保护。ALD薄膜可以附着在各种表面上,例如金属,玻璃,塑料,乃至纤维及粉末。作为气相、低温的沉积技术,ALD薄膜可以生长在非常敏感的表面上,例如聚合物薄膜。
Picosun的ALD技术应用在钟表部件、珠宝、硬币上进行防着色,防腐蚀的装饰涂层。在生物植入医疗部件上的生物兼容、生物活性涂层。致密、惰性、密封、弹性、透明的ALD薄膜技术挑战传统的膜生长方式。在PCB防腐蚀保护、防摩损等领域,ALD层大大提升了部件的质量、可靠性及寿命。
ALD工业领域及应用 | |
产品 | ALD应用 |
医疗植入(牙科,连接技术) 手术固定器 | 植物活性层, 用来提高骨融 合,生物兼容的包覆层 |
植入医疗器件 (心脏起搏器,耳蜗植入) | 生物兼容包覆层 |
收藏性硬币 | 防着色涂层 |
钟表部件 | 防着色层或装饰层 |
珠宝 | 防着色层或装饰层 |
PCB | 防锡晶须及腐蚀 |
衬底尺寸和类型 | 156 mm x 156 mm硅片800~1000片/批次(双面/背对背) 高达400 mm x 600 mm玻璃基板30~50片/批次(双面/背对背) 大批量的3D产品(例如:钟表部件,珠宝,硬币,医疗植入部件,机械部件等) 多孔,通孔,高深宽比(HAR)样品 |
工艺温度 | 50 - 500 °C |
基片传送选件 | 气动升降(手动装载,带叉车forklift cart) 全自动转载,用工业机器人实现 |
前驱体 | 液态、固态、气态、臭氧源 前驱源余量传感器,并提供清洗和装源服务 8根独立源管线,最多加载12个前驱体源 |
重量 | 2000 kg |
尺寸(W x H x D) | 230 cm x 270 cm x 125 cm |
选件 | PICOFLOW™ 扩散增强器,N2发生器,尾气处理器,定制设计,与工厂软件连接服务。 |
验收标准 | 标准设备验收标准为 Al2O3 工艺 |
企业名称
北京正通远恒科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110105001988017
成立日期
2001-03-09
注册资本
30
经营范围
科技产品的技术开发、技术培训、技术服务、技术咨询;信息咨询(不含中介服务);市场调研;财务咨询;零售仪器仪表、机械设备、电器设备、化工产品(不含一类易制毒化学品)、建筑材料、五金交电、计算机及配件、百货;承办展览展示;组织文化艺术交流。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
北京正通远恒科技有限公司
公司地址
北京市朝阳区胜古中路2号院7号楼A座611室
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