产品信息
Magma磁场成像显微镜系统(简称Magma)是Neocera Magma公司研发的一种新型半导体失效分析工具。它拥有一套独特的传感器和技术,可以检测和定位所有静态缺陷。
Magma具有极大的可靠性,适用于探测开路、短路、漏电和高电阻开路的位置。此外,磁场成像可用于生成3D故障分析的深度信息,甚至可以用于多层器件。
在半导体失效分析领域,Magma可以定位微电子系统中的所有静态缺陷(短路、漏电和开路)。它可以容纳Die-level互连的300毫米晶圆、最/终封装的PC板、以及所有类型的封装器件,包括各种具有异质集成的多芯片模块器件、叠层器件、3DICs和SiP。
新型平台的设计使用了终端用户的输入,以提供用户友好型的设置和操作,以及更高的工作量和更低的运营成本。
基础配置:配备高灵敏度的SQUID传感器,用于低电流、无损检测短路、漏电和高电阻开路。可实现低成本定位,用于检测封装器件和PC板中的短路及漏电。
EFI工具:能够以极高的精确度检测失效的开路故障。
HiRes工具:将两个传感器组合成一个工具。在靠近电流扫描时,SQUID传感器用于检测尽可能最小的电流,磁阻传感器用于获得较好的空间分辨率。因此,其具有两方面的优点:空间定位和灵敏度。
技术参数
特点 | 详情 |
SQUID 传感器 | |
短路缺陷定位(SQUID) | 3um |
空间分辨率 (SQUID) | 2um |
总扫描面积 (SQUID) | 至少 100mm by 100mm |
当前灵敏度 (SQUID) | · 500nA @ 333um · 1.5uA @ 1000um |
磁敏感性 (SQUID) | 15 pT/√Hz Typical |
成像深度 (SQUID) | 10mm |
工作频率 (SQUID) | DC to 25kHz |
HiRes 传感器 | |
短路缺陷定位 (HiRes) | 250nm |
空间分辨率 (HiRes) | 500nm |
总扫描面积 (HiRes) | At least 100mm by 100mm |
当前灵敏度 (HiRes) | · 5uA @ 2um · 100uA @ 100um |
磁敏感性 (HiRes) | 10nT/√Hz Typical |
工作频率 (HiRes) | 10kHz to 200kHz |
成像深度 (HiRes) | <100um |
Opens断路 | |
断路缺陷定位 (SDR) | 30um |
成像深度 (Opens) | <500um |
工作频率 (Opens) | 20MHz to 200MHz |
其他参数 | |
功能发电机 | ±10V @ 100mA |
功能发电机频率 | DC to 200kHz |
镜头分辨率 | 2um (in NIR or Visible) |
电源 | · 110 - 120V @ 20A · 220 - 240V@ 10A |
操作系统 | Windows 10 64-bit |
产品应用
该仪器是检测模具、封装或PC板水平上所\有类型静态缺陷(短路、泄漏、高电阻开启和断路开启)的很好的工具。该仪器结合了两个传感器的功能,实现了很好的灵敏度和亚微米的分辨率的统一。这允许单个系统可以处理任\何类型的设备和任\何类型的静态缺陷。
1.解决了所\有的静态缺陷:短路、泄漏和断路。
2.三维缺陷定位计算样本表面到当前路径的距离,当直流电迹可用时,新的软件能够在所\有三维重建当前路径。
3.由于磁场渗透所\有材料,SQUID 传感器可以很自然的发现封装短路故障。
4.使用大于500nm空间分辨率的HiRes传感器定位模具短路。磁场分辨率不受波长的限制,只受传感器尺寸和扫描距离的限制。
5.在500nA电流灵敏度下,可以发现ω电阻的泄漏。
6.使用SDR技术,在检测电流产生的射频磁场时,应用高频信号(20MHz至200MHz),可以发现故障。
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其它无损设备Magma EFI HiRes使用的注意事项?
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企业名称
北京正通远恒科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110105001988017
成立日期
2001-03-09
注册资本
30
经营范围
科技产品的技术开发、技术培训、技术服务、技术咨询;信息咨询(不含中介服务);市场调研;财务咨询;零售仪器仪表、机械设备、电器设备、化工产品(不含一类易制毒化学品)、建筑材料、五金交电、计算机及配件、百货;承办展览展示;组织文化艺术交流。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
北京正通远恒科技有限公司
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北京市朝阳区胜古中路2号院7号楼A座611室
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