产地类别： 进口
衬底尺寸： 最大300mm晶圆/单片
重量： 820 kg
尺寸(W x H x D)： 160 cm x 80 cm x 240 cm
PICOSUN® P-300BV ALD系统是专为生产LEDs、分立器件和MEMS器件（如打印头、传感器和麦克风）而设计的。
| 衬底尺寸和类型 | 200mm硅片25片/批次 150mm硅片50片/批次 100mm硅片75片/批次 |
| 工艺温度 | 50-450℃ |
| 基片传送选件 | 气动升降（手动装载） 半自动装载，用线性装载器实现 全自动转载，用工业机器人实现 |
| 前驱体 | 液态、固态、气态、臭氧源 前驱源余量传感器，并提供清洗和装源服务 4根独立源管线，最多加载8个前驱体源 |
| 重量 | 400 + 300 kg |
| 尺寸 (W x H x D) | 149 cm x 191 cm x 111 cm |
| 选件 | PICOFLOW™ 扩散增强器，N2发生器，尾气处理器，定制设计，与工厂软件连接服务。 |
| 工艺 | Al2O3, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, TiO2, ZrO2, AlN, TiN, and metals |
产品货期: 90天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
维修响应时间: 2天内
