产地类别： 国产
看了离子溅射仪的用户又看了
ETD-900型离子溅射仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的，最简单、可靠、经济的镀膜设备。
适用于电镜实验室的扫描电子显微镜（SEM）样品制备，非导体材料实验电极制作。
特点：
1. 配置有样品溅射室真空表和溅射电流表，用以指示、监控仪器状态；
2. 溅射电流调整控制器、微型真空气阀。在工作时结合内部自动控制电路很容易控制真空室压强、电离电流及任意选择所需要的电离气体，获得最佳镀膜效果；
3. 特殊设计的钟罩边缘橡胶密封圈，可保证长期使用不会出现影响样品溅射室真空度的玻璃钟罩“崩边”现象；
4. 根据电场中气体电离特性，采用大容量样品溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀纯净。
型号 | ETD-900 |
主机规格 | L360mm*W300mm*H380mm
|
靶（上部电极） | 金：直径：50mm，厚度：0.1mm |
真空样品室 | 直径：160mm，高：120mm |
溅射面积 | Ф50mm |
真空指示表 | 最高真空度：≤ 4X10-2 mbar |
离子电流表 | 最大电流：50mA(100mA) |
定时器 | 最长时间：3600S |
微型真空气阀 | 可连接φ3mm软管 |
可通入气体 | 多种 |
最高电压 | -1600 DCV |
机械泵 | 2L/S |
首先, 电源启动, 在阴阳极板间产生高压。由于级间距离很近, 根据E=U/d 可知, 电场强度E数值非常大, 尤其在阳极筒壁边缘处。在强大的电场和与之平行的磁场作用下, 电子以螺旋线方式高速运动, 由于电子运动行程的增加, 大大提高了与气体分子碰撞的几率。电子在空间与气体分子碰撞产生正离子和二次电子, 产生的电子继续与气体分子碰撞产生新的正离子和电子。此种放电称为潘宁放电, 潘宁放电能在很低的压强下进行。
溅射离子泵主要由阳极、阴极、永磁铁和泵体四大部分组成。 阳极是由多个不锈钢圆筒排列组成的蜂窝状结构, 阴极是两块平行的钛合金板, 将阳极夹在中间, 三者相互间保持一定距离并通过高压绝缘陶瓷连接。阳极施加3~7 kV 直流高压, 阴极接地。阴阳极板被泵体密封在内部, 在泵体外部吸附相对放置的两块永磁铁, 磁场方向与极板垂直, 磁感应强度1000~2000 Gs。
世友创业（北京）科技有限公司是以生产、销售、研发、服务为一体的高科技公司，以冷水机、切割机、磨光机为主要产品，遍及军工、冶金、电子、机械、真空、食品等行业。公司设有科学仪器部、轻工机械部、真空事业部。同时设有一个服务中心，为客户提供设备的安装、调试、维修、备件以及技术咨询和技术培训等各种优质服务。
