爱德华STP-iXA2206

STP-iXA2206系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内领先的性能，可将小型电源供给集成到机载控制器内（成熟的STP-iXA2205系列的最新技术）。该泵的高度等于STP-A2203C的高度，也等于STP-iXA2205系列（不带其电源供给(iPS-1200)）的高度。这一完全集成的产品易于安装且占地面积小，可作为所有应用工具的一体化解决方案。 

用途 

· 金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物） 

· 电子回旋共振(ECR)刻蚀 

· 薄膜沉积CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD 

· 溅射 

· 离子注入源，射束线泵送和站 

功能与优势 

· 紧凑型设计，包括完全集成的控制器 

· 创新性自传感轴承系统 

· 数字化5轴控制 

· 与现有涡轮泵相比振动级别降低了50% 

· 可以配置为运行腐蚀性制程 

技术数据 

*最大气流适用于在15-25 °C之间的水冷却温度下连续泵送N2或Ar气体，并且使用前级泵（10,000 l/min大小）的情况。它会随条件变化而变化。