电子枪扫描控制器及电子枪电源

日本ULVAC公司经多年的技术经验的积累,研制开发HPS-N系列电子束蒸发电源.和电子枪控制器单元,

整体电路运行稳定而安全.抗干扰能力强.可同时对应光学膜及金属膜.

 A EB Gun Controller(电子枪扫描控制器)

特点:

 1 数字化设计,良好的可操作性

采用数字化集成电路式设计,各种设定及操作可通过

液晶触膜面板完成.时时监控加速电压,发射状态.溶化

均匀度,轻松调整电子束停留时间,追溯扫描轨迹.

由CPU控制实现繁杂的扫描过程.

 2 扫描波形图形化,可视化.

在操作面板上完成各种扫描图形的设计.

 3 功能切换

通过DIP Switch实现金属膜/光学膜切换.

参数:

型号          EGC-10GS

TYPE       G-TYPE      S-TYPE

相数,频率      三相 50/60Hz

输  输入电压       AC200～220V

入  变动范围       190～231V

规  输入容量       382VA以下

格  漏溢电流       各相5mA以下

X轴   可调  0A～±1.5A     0A～-3.5A

电磁   范围  

线圈   电压  ±24Vmax      ±24Vmax

输出   变量  ±2%       ±2%

频率  10Hz～800Hz     0.1Hz～22Hz

输       可调间隔为0.1Hz    可调间隔为0.1Hz

出     波形  任意波形      任意波形

规  Y轴   可调  0A～±1.5A     0A～±1.2A

格  电磁   范围

线圈   电压  ±24V      ±24V

输出   变量  ±2%       ±2%

频率  10Hz～800Hz     0.1Hz～22Hz

可调间隔为0.1Hz    可调间隔为0.1Hz

波形  任意波形      任意波形

偏转   可调  0A～-3.5A     /

线圈   范围

输出   电压  +24Vmax      /

变量  ±2%以下      /

频率  DC       /

波形  DC       /

冷却方式         强制冷却

外形尺寸       480.5mmW x 499mmD x 149mmH

质量          11.5kg