射频电源及匹配器

日本ULVAC公司目前生产的射频RF电源RFS-N系列,

包括RFS-1305N输出500W,RFS-1310N输出1KW两种.

频率为13.56MHz.配备高效RF放大器,小型化轻量化.

内藏有自动匹配控制,通过分体式操作面板,

既可控制功率输出及匹配.自动计算异常反射CUT时间,快速遮断电弧重启.

特长:

1. 采用频率13.56MHz高效放大器.通过高效功率变换电路节省能源.

2. 通过高速匹配步进电机控制变速.

3. RF电源内藏自动匹配控制,通过一个标配控制器既可操作控制电源及匹配器.

4. 高速自动匹配,速度快.可匹配覆盖范围广.

5. 平稳实现外部模拟控制,串行通信控制.电源本体与触摸屏呈分体式

6. 两台同时工作时,可三百六十度调整相位.

7. 强制空冷.

参数:

射频电源本体

型号     RFS-1305N    RFS-1310N  

输入     AC180V~240V单相   AC180V~240V单相

输入容量    1.2kVA以下    2.0kVA以下  

振动频率    13.56MHz±0.05%   13.56MHz±0.05%

最大进行波输出  500W      1000W  

最大反射波电力  100W      100W    

线性     额定输出±2%以下   额定输出±2%以下

外形尺寸    240Wx500Dx150H   240Wx500Dx150H

质量     12kg以下     12kg以下  

匹配器

型号     MBX-1305N    MBX-1301N  

电大允许电力   500W      1000W  

输出阻抗    R:0.5Ω≦R≦10.0Ω  R:0.5Ω≦R≦10.0Ω

冷却方式    强制空冷     强制空冷  

外形尺寸    375Wx250Dx170D   375Wx250Dx170D

质量     10kg      10kg    

耐电流    40A      40A    

耐电压    2.5kV(0-peak)   2.5kV(0-peak)