仪器种类： 循环水真空泵
产品类型： 有油泵
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STP-iXR1606系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内领先的性能，机载控制装置中包含最新技术的小型电源供给。其设计理念与STP-iXA2206/iXA3306系列相同。最新开发的革命性转子设计提高了抽取性能，这一完全集成的产品易于安装且占地面积小，可作为所有应用工具的一体化解决方案。
应用
玻璃涂层
太阳能PVD
工业溅射
特性与优势
泵和控制器之间不需要连接电缆。 消除了传统架装式控制器的安装空间和成本。
紧凑型设计使安装更加方便，占地面积更小。 与STP-A1603配套时在8” TMP同类产品中抽速最高。 使高气体流速领域的功耗降低了32%。 标配端口包括I/O远程、RS232C、RS485、STP-Link
可选配Profibus和DeviceNet
技术数据
入口法兰尺寸 | VG200/VG250 | VG150 |
ISO200F/ISO250F | ISO160F | |
ICF253/ICF305 | ICF203 | |
前级抽气口尺寸 | KF40 | KF40 |
抽速 | ||
N2 | 1600 ls-1 | 900 ls-1 |
H2 | 1200 ls-1 | 600 ls-1 |
压缩比 | ||
N2 | >108 | >108 |
H2 | 1 x 103 | 1 x 103 |
极限压力 | 10-7Pa (10-9Torr) | 10-7Pa (10-9Torr) |
允许的前级压力 | 266 Pa (2 Torr) | 266 Pa (2 Torr) |
最大气流N2（仅水冷） | 4700 sccm | 4700 sccm |
(7.94 Pam3s-1) | (7.94 Pam3s-1) | |
最大气流Ar（仅水冷） | 1800 sccm | 1800 sccm |
(3.04 Pam3s-1) | (3.04 Pam3s-1) | |
额定速度 | 36,500 rpm | 36,500 rpm |
启动时间 | 8 min | 8 min |
固定位置 | 任何方向 | 任何方向 |
输入电压 | 200至240 (± 10) V交流 | 200至240 (± 10) V交流 |
最大输入功率 | 750 VA | 750 VA |
重量 | 48 kg | 48 kg |
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