芬兰PICOSUN原子层沉积机P-300S Pro ALD

报价

¥100万 - 200万

暂无评分

品牌

样本

暂无样本

型号

P-300S Pro ALD

荣誉奖项

产地

欧洲

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

金牌
第5年
一般经销商

营业执照已审核

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核心参数

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产品详情

芬兰PICOSUN原子层沉积机P-300S Pro ALD

技术参数

衬底尺寸和类型 ：最大300mm晶圆/单片

工艺温度： 50 - 500 °C

基片传送选件：

。半自动装载，用单片Load lock与磁力操纵杆实现
。25片晶圆盒对盒式全自动装载（cassette-to-cassette），用PICOPLATFORM™ 300集群系统实现

标准：SEMI S2认证

前驱体：

。液态，固态，气态，臭氧源
。等离子体（仅供200mm晶圆使用，最多4路气体）
。前驱源余量传感器，并提供清洗和装源服务
。6条独立源管线,最多加载8个前驱体源（最多12个前驱体源，加上plasma管路共7根独立源管线）

重量：820 kg

尺寸：(W x H x D) 160 cm x 80 cm x 240 cm

选件： 集群工具，PICOFLOW™扩散增强，N2发生器，尾气处理，定制设计，与工厂软件连接服务。

验收标准 ：

。标准设备验收标准为Al2O3工艺，
。其他工艺可具体协商：其他工艺、应用具体验收标准如：
- 不均匀性
- 颗粒物含量
- 重金属污染
- 电学性能

售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期: 否

现场技术咨询: 无

免费培训: 免费安装及技术培训

免费仪器保养: 6个月一次。

保内维修承诺: 经确认质量问题，免费更换。

报修承诺: 24小时内到达现场并开始维修

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芬兰PICOSUN原子层沉积机P-300S Pro ALD 信息由深圳市蓝星宇电子科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于芬兰PICOSUN原子层沉积机P-300S Pro ALD 报价、型号、参数等信息，蓝星宇客服电话：400-860-5168转4527，欢迎来电或留言咨询。

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