芬兰PICOSUN原子层沉积机P-300S Pro ALD
芬兰PICOSUN原子层沉积机P-300S Pro ALD

¥100万 - 200万

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P-300S Pro ALD

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欧洲

  • 金牌
  • 第5年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数
产品详情


芬兰PICOSUN原子层沉积机P-300S Pro ALD 
 

技术参数


衬底尺寸和类型 :最大300mm晶圆/单片
 

工艺温度: 50 - 500 °C
 

基片传送选件:

         。 半自动装载,用单片Load lock与磁力操纵杆实现
         。25片晶圆盒对盒式全自动装载(cassette-to-cassette),用PICOPLATFORM™ 300集群系统实现

 

标准 :SEMI S2认证
 

前驱体

     。液态,固态,气态,臭氧源
     。等离子体(仅供200mm晶圆使用,最多4路气体)
     。前驱源余量传感器,并提供清洗和装源服务
     。6条独立源管线,最多加载8个前驱体源(最多12个前驱体源,加上plasma管路共7根独立源管线)

 

重量:820 kg
 

尺寸:(W x H x D) 160 cm x 80 cm x 240 cm
 

选件: 集群工具,PICOFLOW™扩散增强,N2发生器,尾气处理,定制设计,与工厂软件连接服务。
 

验收标准 :

        。标准设备验收标准为Al2O3工艺,
        。其他工艺可具体协商:其他工艺、应用具体验收标准如:
            - 不均匀性
            - 颗粒物含量
            - 重金属污染
            - 电学性能

 


售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 免费安装及技术培训

免费仪器保养: 6个月一次。

保内维修承诺: 经确认质量问题,免费更换。

报修承诺: 24小时内到达现场并开始维修

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原子层沉积P-300S Pro ALD 的工作原理介绍

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P-300S Pro ALD 多少钱一台?

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