¥100万 - 200万
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E200P 双反应腔+6路进气口
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中国大陆
产地类别： 国产
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Exploiter E200P原子层沉积系统（粉末颗粒包裹反应腔）是原速科技自主开发的新一代智能化ALD研发系统，可在平面衬底、粉末颗粒表面、高深宽比结构及其他复杂三维结构上沉积薄膜。原子层沉积系统 E200P广泛适用于纳米材料、微机电系统、催化剂、生物膜材料及光电材料等领域，其特点在于：
双反应腔：Φ200mm + 粉末颗粒包裹腔
6路进气口：3路前驱体源 + 3路反应气源
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