产地类别: 国产
主要应用: 晶圆制程监控,出厂晶圆质量控制
晶圆尺寸: 100nm、150nm、200nm、300nm
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AWL系列晶圆检查系统
SOPTOP全新半导体工业检测产品——AWL系列晶圆检查系统,兼具稳定性和安全性,能够安全可靠的传送晶圆,适合于前道到后道工程的晶圆检查。
一个晶圆在经过一系列复杂工序后最终变成多个IC单元,期间晶圆需要依赖搬运机在处理站之间执行快速、精确的传送作业。
纳米级厚度的晶圆很容易在传送过程中损坏,而且还须确保在工序中晶圆表面不得有脏污、缺陷等。
SOPTOP拥有 AWL046、AWL068、AWL812三种机型,多类配置,分别可适用于 4/6 英寸,6/8英寸、8/12英寸的晶圆检测,适应范围广、搭配灵活 。
可自由设置的检查模式,充分符合人机工程学设计,操作舒适、简便。
360°宏观检查
AWL系列具有宏观检查手臂,可以实现晶面宏观检查、晶背宏观检查 1 的 360°旋转,更为容易发现伤痕和微尘。通过操作杆可随意将晶圆倾斜观察。晶面最大倾斜角度70°,晶背 1 最大倾斜角度 90°,晶背 2最大倾斜角度 160°,利用旋转功能、倾斜角度,完全可以目视检查整个晶圆正反面及边缘。
人机工程学设计
LCD 显示屏,可为操作者提供更直观的视觉体验,可清晰的显示当前检查项目及次序,调试参数一目了然。
手动快速释放真空载物台可提高操作者的舒适度和工作效率。
精密微观检查
采用专业半复消色差金相物镜,可满足明场、暗场、DIC、偏光等多种观察方式。全新电动控制系统,可排查 μm 级异常,诸如孔未开出,短路,断路,沾污,气泡,残留等。
产品货期: 90天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
节假日是否提供上门服务: 是
是否支持上门巡检: 是
是否提供预防性维护计划: 是
是否提供期间核查方案: 是
是否提供免费应用支持: 是
是否提供付费应用支持: 是
舜宇晶圆缺陷光学检测设备AWL系列的工作原理介绍
晶圆缺陷光学检测设备AWL系列的使用方法?
舜宇AWL系列多少钱一台?
晶圆缺陷光学检测设备AWL系列可以检测什么?
晶圆缺陷光学检测设备AWL系列使用的注意事项?
舜宇AWL系列的说明书有吗?
舜宇晶圆缺陷光学检测设备AWL系列的操作规程有吗?
舜宇晶圆缺陷光学检测设备AWL系列报价含票含运吗?
舜宇AWL系列有现货吗?
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