创新点
面向半导体晶圆检测的拉曼光谱测试系统广泛地应用于半导体材料的质量监控、失效分析。
看了晶圆缺陷光学检测设备的用户又看了
半导体晶圆拉曼光谱测试系统R1——应力、组分、载流子浓度
拉曼激发和收集模块 | 激光波长 | 532 nm |
激光功率 | 100 mW | |
自动对焦 | •在全扫描范围自动聚焦和实时表面跟踪 •对焦精度<0.2微米 | |
显微镜 | •用于样品定位和成像 •100x，半复消色差物镜 •空间分辨率<2微米 | |
拉曼频移范围 | 80-9000 cm-1 | |
样品移动和扫描平台 | 平移台 | •扫描范围大于300x300mm。 •最小分辨率1微米。 |
样品台 | •8寸吸气台（12寸可定制） •可兼容2、4、6、8寸晶圆片 | |
光谱仪和探测器 | 光谱仪 | •320 mm焦长单色仪，接面阵探测器。 •分辨率<2.0 cm-1。 |
软件 | 控制软件 | •可选择区域或指定点位自动进行逐点光谱采集 |
Mapping数据分析软件 | •可对光谱峰位、峰高和半高宽等进行拟合。 •可自动拟合并计算应力、晶化率、载流子浓度等信息，样品数据库可定制。 •将拟合结果以二维图像方式显示。 |
仪器订购
样品委托测试
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 有
免费培训: 提供免费操作培训
免费仪器保养: 1 年免费保修服务（人为造成的损坏除外）
保内维修承诺: 提供7×24小时的维修服务响应
报修承诺: 最短 72 小时内更换零配件，修复故障货物。
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