日本大塚电子otsuka 进口超高速分光干涉晶圆薄膜测厚仪 SF-3/200系列
中图仪器无图晶圆几何量测系统WD4000
布鲁克bruker X射线缺陷检测 JVSensus-600F
布鲁克bruker 化合物半导体的X射线量测方案 Delta-X
布鲁克bruker白光干涉量测方案 InSight WLI
TCO膜薄膜方阻测试模组
布鲁克bruker全自动原子力量测方案 InSight AFP
布鲁克bruker纳米机械计量学 Hysitron ATI 8800
布鲁克bruker探针式轮廓仪 Dektak XTL™
布鲁克bruker X射线缺陷检测 QC-TT
布鲁克bruker 硅基半导体的X射线量测方案 7300LSI
布鲁克bruker 化合物半导体的X射线量测方案 JV QCVelox-E
布鲁克brukerX 射线缺陷检测QC-RT X
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分类小贴士
光学薄膜测量设备是一种用于测量薄膜厚度、折射率、透过率等关键参数的仪器。它利用光学原理，通过测量入射到薄膜表面的光线在薄膜内部传输和反射的情况，来计算薄膜的厚度和其他光学参数。 光学薄膜测量设备通常由光源、光路系统、检测器、计算机等组成。其中，光源会发出一束光线，经过光路系统聚焦后照射到薄膜表面。检测器会收集薄膜表面反射回来的光，并对其进行分析。计算机则负责处理检测器收集到的数据，根据预先设定的算法计算出薄膜的厚度及其他光学参数。 目前市场上常见的光学薄膜测量设备包括自动化薄膜测量系统、紫外-可见-近红外光谱仪、激光干涉仪等。这些设备广泛应用于光学涂层、太阳能电池、半导体等领域。
光学薄膜测量选型心得 更多
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关于光学薄膜测量设备一些选型心得
我们实验室用大塚的膜厚仪测SiNₓ和SiO₂薄膜大半年了，精度确实没话说——150nm标称的样品实测150.001nm，几乎零偏差-1。最满意的是微小区域测量能力，光斑最小能到3μm，测晶圆上特定点位很准，8英寸晶圆全片Mapping效率比之前提升了近10倍。速度也快，1秒一个点。唯一不足是软件有门槛，多层膜拟合需要懂点光学知识，新手得花时间学。但厂家提供免费培训，后续每3个月还有免费保养，服务到位。总的来说，精度、速度都很能打，解决了我们之前微小区域测不准的痛点
多选
