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核心参数
产地类别： 国产
主要应用： 面向半导体晶圆检测的拉曼光谱测试系统
半导体晶圆拉曼光谱测试系统R1——应力、组分、载流子浓度
主要功能：
拉曼激发和收集模块 | 激光波长 | 532 nm |
激光功率 | 100 mW | |
自动对焦 | •在全扫描范围自动聚焦和实时表面跟踪 •对焦精度<0.2微米 | |
显微镜 | •用于样品定位和成像 •100x，半复消色差物镜 •空间分辨率<2微米 | |
拉曼频移范围 | 80-9000 cm-1 | |
样品移动和扫描平台 | 平移台 | •扫描范围大于300x300mm。 •最小分辨率1微米。 |
样品台 | •8寸吸气台（12寸可定制） •可兼容2、4、6、8寸晶圆片 | |
光谱仪和探测器 | 光谱仪 | •320 mm焦长单色仪，接面阵探测器。 •分辨率<2.0 cm-1。 |
软件 | 控制软件 | •可选择区域或指定点位自动进行逐点光谱采集 |
Mapping数据分析软件 | •可对光谱峰位、峰高和半高宽等进行拟合。 •可自动拟合并计算应力、晶化率、载流子浓度等信息，样品数据库可定制。 •将拟合结果以二维图像方式显示。 |
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企业名称
北京卓立汉光仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(法人独资)
信用代码
91110112102387306K
成立日期
1999-07-19
注册资本
5000万元
经营范围
生产、维修光谱仪及附件、光谱测量系统、精密位移台、光学调整架、光学平台;技术服务;技术检测(不含技术认证);技术推广;销售光谱仪及附件、光谱测量系统、精密位移台、光学调整架、光学平台;货物进出口、技术进出口、代理进出口;出租办公用房;委托加工光谱仪及附件、精密位移台、光学调整架、光学平台;租赁光学仪器专用设备。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本区产业政策禁止和限制类项目的经营活动.)
北京卓立汉光仪器有限公司
公司地址
北京市中关村科技园区通州园金桥产业基地环科中路16号，联东U谷中试区68号B座
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