Park帕克原子力显微镜

网络讲座：原子力探针显微术及其应用进展

纳米科学与技术是当今前沿基础科学和高新技术研究中最具有发展潜力的领域之一，也是国际科技竞争的战略制高点。在纳米科技发展过程中，以电子显微术，扫描探针显微术及超分辨光学显微术为核心的纳米表征与测量技术起到了关键性的作用。目前，以扫描隧道显微术、原子力显微术为核心的一系列扫描探针显微术已经发展成为基础科学及技术应用研究中探测微纳米尺度物质结构、性质及功能的核心工具之一。目前，原子力显微术是使用最为广泛的扫描探针显微技术；它也可以作为微纳米尺度下的“眼”和“手”与其他表征和测量技术相结合，具有非常广阔的发展和应用空间。 在本讲座（共三次）中，我们将在（1）介绍扫描探针显微技术的基础上，进一步介绍原子力探针显微技术的基础理论、仪器与方法基础，（2）基本工作模式及其应用，最新技术和方法进展等。（3）在此基础上，我们将进一步介绍原子力显微技术的功能化探测模式及其微纳米尺度物性研究与测量中的应用。最后，我们将简要探讨原子力显微术的进一步研究发展方向等

网络讲座：导电原子力显微镜（C-AFM）在二维材料及纳米电子器件中的应用

导电原子力显微镜（C-AFM）是一种非常有用的扫描探针显微镜（SPA）纳米表征技术，它不仅可以对样品的形貌进行表征，更重要的是可以探测许多介质材料和电子器件的局部电学性质。C-AFM技术已经成功表征了介质薄膜的许多重要的纳米级现象，比如：局部缺陷、电荷捕获和释放、应力诱导漏电流、负偏置温度不稳定性等。   目前，随着电子器件尺寸和介电材料厚度的不断缩减，纳米级电学性质表征技术手段的应用和发展变得日益重要。本讲座首先简要介绍C-AFM技术的发展历程、工作原理、工作特点及方式；其次重点介绍C-AFM技术在二维材料和忆阻器中的电学表征应用。   具体内容是利用C-AFM技术：1.研究化学气相沉积法制备的六方氮化硼（h-BN）的电学性质：介质击穿特性和厚度及电学性质均一性；2.在不同环境（大气和真空）下探测h-BN基忆阻器的阻变特性及导电细丝的形态表征；3.通过与其它电学设备相结合，实现更高性能的技术表征。最后，探讨未来多探针SPA技术的发展概念，有望实现在真空环境下对材料或器件的原位制备和表征。 主讲人： 惠飞博士 现以色列理工学院博士后，2018年7月获得巴塞罗那大学和苏州大学双博士学位。在攻读博士期间，她曾先后到世界顶级名校美国麻省理工学院和英国剑桥大学进行为期12个月和6个月的访学。在科研方面，5年时间内，她共参与发表SCI期刊学术论文38篇，其中，一作论文11篇，包括顶级期刊Nature Electronics, AdvancedFunctional Materials, ACS Applied Materials & Interfaces, 2D Materials, Nanoscale等。另外，她还参与德国Wiley出版的专著篇章一部，获批国家发明专利一项，申请国际专利两项，参与申请国际间/国家自然科学基金项目等8项。曾获得2019 ParkAFM博后奖学金、英国皇家化学会学者奖学金等。她的主要研究领域是化学气相沉积法制备二维材料及其在电子器件领域内的应用。

Park NX-Wafer 产品彩页介绍

具有自动缺陷检测&原子力轮廓仪功能的低噪声，高吞吐量原子力显微镜。NX-Wafer原子力显微镜提供精确的形貌量测，可用来监控化学机械研磨平面化制程，检测因材料差异所造成异质材料间的凹陷（dishing）效应与浸蚀（erosion）效应

Park NX-Hivac产品彩页介绍

用于失效分析应用的高真空扫描，再高真空条件下进行SSRM(Scanning Spreading-Resistance Microscopy-扫描扩展显微镜)测量能够减少所需的针尖-样品相互作用力，并减少对样品和针尖的损伤，延长针尖的使用寿命，并能通过提高空间分辨率和信噪比从而提供更准确的结果。

Park原子力显微镜NX12彩页

Park NX12有纳米级分辨率成像以及电，磁，热和机械性能测量的能力；纳米管扫描系统可用于高分辨率扫描离子电导显微镜（SICM）。

帕克网络讲堂：原子力显微镜测定力—距离曲线的原理和应用

1. 力和距离曲线在表面科学，纳米技术，生物科学 和许多其他研究领域中也扮演了非常重要角色。 2. 力和距离曲线是Park所有机台的默认配置，不需要 特殊的模块配合使用，但是很少人充分利用。 3. 操作简单，但是涉及的难点却很多。如探针的选择， 参数的设定，悬臂的校准等等。 4. 不仅有一般力和距离曲线，还包括液下力和距离曲 线，还有Park 推出的PinPoint模式也都是这个领域的 延伸。 5. 对于特殊材料进行力曲线分析，如细胞等样品，探 针的改良也是一种保护样品不被破坏的途径，并能够 让测量变成更容易的几何运算。它也是一种力曲线的分析难点之一。