荷兰Fastmicro晶圆表面颗粒检测系统

Fastmicro Particle Defect Inspection System | FM-PDS

品牌：Fastmicro

型号：FM-PDS

产地：荷兰

关键字：颗粒度检测，颗粒污染检测，晶圆表面颗粒度检测

一、产品介绍

荷兰Fastmicro公司表面颗粒度检测系统专门用于直接、快速检测产品表面颗粒度污染情况，允许检测最小颗粒尺寸100nm。主要应用于半导体领域薄膜、标线片、晶圆表面颗粒度检测或显示领域表面颗粒度检测。基于模块化和可扩展设计，该检测系统的扫描区域可以覆盖非常大的表面，如LCD衬底。

此外，扫描仪模块也可以集成到其它设备中作为OEM解决方案。

二、系统配置

操作模式：半自动/全自动；

样品尺寸：4"/6"/8"/12

检测速度：400 Wafers-Per-Hour (WPH)；

分析参数：颗粒数量，位置和尺寸；

分析报告：UI或PDF格式量化报告，满足ISO-14644-9标准；

数据输出：KLARF, XML, Excel & Text文件；

检测阈值：100nm及以上尺寸PSL颗粒；

重复性：99%累积颗粒计数标准颗粒；

尺寸准确性：PSL颗粒20%以内；

定位准确性：40μm精度，15μm定位重复性；

顶部/底部检测：单面检测/无翻转；

控制：全数字控制设备网络-以太网，SECS/GEM；

三、应用领域

荷兰Fastmicro公司表面颗粒度检测系统可以应用于以下场景：

• 薄膜检测（正面和背面）

• 标线片，光掩模

• 4 / 6 / 8/ 12英寸晶圆（背面、坯件、斜面）

• 3Di（例如铜与铜的键合）

• 高纯度关键部件

四、检测模块集成

         Fastmicro模块化设计的表面颗粒度检测系统可以根据客户需求集成到客户现有生产线上。可以包含检测模块、清洁模块、上片站、机械臂、检测区和清洁片存放区。